Purity of Ion Beams Analysis and Simulation of Mass Spectra and Mass Interferences in Ion Implantation 外文参考文献.docVIP

HindawiPublishingCorporation AdvancesinMaterialsScienceandEngineering Volume2012,ArticleID610150,9pages doi:10.1155/2012/610150 ResearchArticle PurityofIonBeams:AnalysisandSimulationofMassSpectra andMassInterferencesinIonImplantation VolkerH¨aublein, 1HeinerRyssel,1,2andLotharFrey 1,2 1 2 FraunhoferInstitutf¨urIntegrierteSystemeundBauelementetechnologie,Schottkystrasse10,91058Erlangen,Germany Lehrstuhlf¨urElektronischeBauelemente,Universit¨atErlangen,Cauerstrasse6,91058Erlangen,Germany CorrespondenceshouldbeaddressedtoVolkerH¨aublein,volker.haeublein@iisb.fraunhofer.de Received1July2011;Acce