透射电镜的结构和功能精要.pptVIP

六 、透射电子显微的结构与功能 透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope TEM） 以电子为光源，电磁场为透镜，电子束穿过试样成像的电子光学仪器。 分辨本领: 0.2 - 0.3 nm 加速电压 : 100 – 500 kV 放大倍数: 50－1.2×106 能分辨开的物面上 两点间的最小距离d， 称为显微镜的分辨本 领。 ☆　电子 具有波粒二象性，与可见光相似，可作光源。 电子波长为： 　　 ν为电子的速度，与加速 电压 E 的关系 电子波长与加速电压的关系 6.2 电子透镜 利用轴对称非均匀电场或磁场力使电子会聚或发散的装置。核 心部件，决定电镜的性能。 ▲　球差： 透镜中心与边缘对电子的会聚能力不同造成。 在物面上的影响半径为 rS=CSα3 CS为球差系数 α 为孔径半角 ▲　像散： 透镜磁场不完全对称造成。 物面上的影响半径为 rA=M△fαα △fα 像散引起的焦距差 ▲　色差： 电子能量不同造成 在物面上的影响半径为 rC=CCα△E/E △E/E 电子能量变化率 CC 色差系数 磁透镜另一大特点 △　景深： 保持象清晰度时，试样在物平 面沿轴向可移动的距离。 △　焦深: 保持象清晰度时，像平面沿轴 向可移动的距离。 6.3 电子显微镜的结构 ★　电子光学系统 电子显微镜的核心,成像 放大等主要功能靠此完成。 ★　真空系统 保证电子只于试样发生 作用，真空度为1.33×10-2～ 10-5Pa ★　供电系统 以高稳定度的电压供给 电子枪，高稳定度的电流供 给磁透镜。 电子光学系统 电子枪 聚光镜 偏转线圈 样品室 物 镜 中间镜 投影镜 照明部分 成像放大部分 物镜： * * 透射电子显微学的发展(回顾) 1931年 E.Ruska and M. Knoll 世界上第一台电镜 1986年 E.Ruska 获诺贝尔物理学奖 1982年 A.Klug 获诺贝尔化学奖 1937年 C.J.Davisson and G.P.Thomson 获诺贝尔物理学奖 50～60年代 英国 剑桥大学 物理系 Cavendish Lab. P.B.Hirsch and A.Howie et al (TEM) 衍衬理论: 运动学、 动力学 透射电镜代表作：薄晶体电子显微学 刘安生译 Electron Microscopy in Thin Crystal 70～80年代 分析电子显微学兴起 高分辨电子显微术（HREM） X射线能谱分析（EDAX 或 EDS） 电子能量损失谱分析（EELS） 微衍射与微微衍射(μD 、μ－μD) 会聚束电子衍射（CBED） 扫描透射电子显微术（STEM） 表面反射衍射电子显微术（RHEED） 美国 亚利桑那州立大学 J.M.Cowley Diffraction Physics 代表作： J.J.Hren Introduction to Analytical Electron Microscopy J.C.H.Spence Experimental High-Resolution Electron Microscopy 90～今 透射电子显微学进展 叶恒强 王元明 主编 电子全息术、生物大分子材料 、纳米材料、物镜球差校正 高分辨、高分辨透扫（Z