双端谐振型SAW气体传感器的优化设计.pdfVIP

2010年 第29卷 第9期 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 97 双端谐振型 SAW 气体传感器的优化设计 李 琨，杜晓松，胡 佳，孙 萍，蒋亚东 (电子科技大学 光 电信息学院 电子薄膜与集成器件国家重点实验室，t~1111成都 610054) 摘 要：针对FPOL敏感膜 sT切石英基底双端谐振型SAW传感器的频率响应特性和敏感机理进行了理 论分析。采用P矩阵级联方法与微扰理论，系统地讨论了影响传感器频率响应特性与探测灵敏度的因 素。研究结果表明：在优化设计传感器器件结构的基础上，还需合理选择敏感区宽度、敏感膜材料特性及 厚度，以提高探测灵敏度、降低插入损耗。给出了优化后的器件结构和敏感膜参数 ，可对双端谐振型 刚 传感器的设计与性能分析提供重要参考。 关键词：声表面波器件；化学传感器；数值仿真；优化设计 ；双端谐振；粘弹性 ；衰减 中图分类号：0429 文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2010)09-0097-04 Optimaldesign ofSAW gassensorusingtwo·portresonator LIKun，DUXiao—song，HUJia，SUNPing，JIANGYa—dong (StateKeyLaboratoryofElectronicThinFilm andIntegratedDevices，SchoolofOptoelectronicInformation， UniversityofElectronicScienceandTechnologyofChina，Chengdu610054，China) Abstract：The~equeneyresponsecharacteristicsandthesensitivemechanism oftheSTcutquartzbasedSAW sensorwithtwo—portresonatorandFPOL sensitivefilm weretheoreticallyanalyzed．Thefactorswhichaffectthe frequencyresponse and the detective sensitivity were systematically discussed byP—matrix method and the perturbationtheory．Conclusioncanbedrawnthatitisnecessarytoproperlychoosethewidth，thethicknessand thematerialcharacteristicsofthesensitivefilm inordertoimprovethedetectivesensitivityandtodecreasethe insertloss．Theoptimizeddevicestrutureand sensitivefilm parametersweregiven，whichcanprovideimportant referenceindesignandcharacteristicsanalyzsisoftheSAW gassensorusingtwo—port resonator． Keywords： surfaceacousticwavedevice：chemicalsensor；numericalsimulation；optimaldesign；two—port resonance；viscoelasticity；attenuation 0 引 言 COM方法相对于FEM法更加简便高效。 声表面波(surfaceacousticwave，SAW)气体传感器是 本文采用 COM理论与P矩阵方法，对 sT切石英基底 检测化学毒剂和爆炸物的新型传感器，具有体积小、频率