双阵列式电容传感器电极个数的选取.pdfVIP

44 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 2013年 第32卷 第 11期 双阵列式电容传感器 电极个数的选取 徐弈辰，杨道业，张 智，程明霄，施 源 (南京工业大学 自动化与电气工程学院，江苏 南京 210031) 摘 要：利用传感器相邻极板之间灵敏场不均匀的特点，建立了一种新型双阵列式电容传感器，并引入新 的目标函数来评价灵敏场在某个区域幅值的大小。通过有限元仿真，分析双阵列式电容传感器电极数为 6，8，12，16时对 目标函数的影响，选取双阵列式电容传感器的电极数，使传感器综合性能最优。 关键词：双阵列式电容传感器；有限元方法 ；区域幅值最大化参数 ；电极数选取 中图分类号：TB934 文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2013)11-0044-04 Selection0felectrodenumber0fdoublearraytype ● 。 ● 球 CaDaCltlve sen．sor XU Yi—chen．YANG Dao．ye．ZHANG Zhi，CHENG Ming．xiao，SHIYuan (SchoolofAutomationElectricalEngineering，NanjingUniversityofTechnology， Nanjing210031，China) Abstract：Anewdoublearraytypecapacitivesensorisdesignedandnewobjectivefunctionsareintroducedto evaluateamplitudeofsensitivefieldinaregion，basedonnon—uniformcharacteristicsofsensitivityfieldofadjacent sensorplate．Theinfluenceofelectrodenumberofdoublearraytypecapacitive sensorare6，8，12 and16 on objectivefunctionareanalyzed，bythemethodoffiniteelementsimulation，selectelectrodenumbersofdouble arraycapacitivesensortomakesensorcomprehensiveperformanceoptima1． Key words：double array type capacitive sensors；finite elementmethod；maximum parcameter ofregion amplitude；selectionofelectrodenumber 0 引 言 图l所示的双阵列式电容传感器 (图中以8电极为例)。 气／固两相流广泛存在于石油、化工 、核能、食品、药 品 传感器主要有三部分组成：电容器极板 、绝缘管道和屏蔽 等许多领域。为实现对多相流系统的计量、控制和节能增 罩。电容器极板 由激励极板、检测极板组成。激励极板与 效，首先要解决的就是参数的检测问题。气／固两相流流动 检测极板相间排列 ，检测极板在轴向上分成对称的两部分。 参数的准确检测与控制是长期未能有效解决的问题 。 与其他阵列式电容传感器相 比，此传感器采用双层检测极 气／固两相流检测的方法主要有 电容法、静 电法、声学法、光 板的结构 ，便于用相关算法算出固相速度。图2为传感器 学法、辐射法等。目前，最常用的是电容法，它具有成