超声液体环境下压电式振动能量采集的研究.pdfVIP

46 传感器与微系统 (TransducerandMicrosystemTechnologies) 2011年 第30卷 第3期 超声液体环境下压 电式振动能量采集 的研究 郑慈航 ，唐 刚3,4，刘景全 ，尹桂林 ，余 震 ，何丹农 (1．上海交通大学 材料科学与工程学院，上海 200240； 2．纳米技术及应用 国家工程研究中心，上海 200241； 3．上海交通大学 微纳科学技术研究院 微米／纳米加工技术国家级重点实验室 薄膜与微细技术教育部重点实验室，上海200240； 4．南 昌工程学院 机械与电气学院，江西 南 昌330099) 摘 要：针对在液体环境下工作的器件不利于直接供能这一难题，制作了一种可在液体环境下工作的振 动能量采集器，采用压电悬臂梁结构在液体环境中采集水中的超声能量，在 32kHz超声频率激励下，最高 获得了5．04V的输出电压。通过改变超声波与悬臂梁的相对方向及液体盐分质量分数，发现能量采集器 在超声液体环境下工作的发电效率随盐分质量分数的增加而减小；在当悬臂梁与超声换能器平面的夹角 为45。-60。时，能量采集器的发电效率最高。 关键词：能量采集器；压电悬臂梁；超声波振动；液体环境 中图分类号：TN384 文献标识码 ：A 文章编号：1000-3(787(2011)03-0046-04 S…tudy On energyh-arvestin‘g us●|ng pl●ez0el1eCtJrl●C cant--il’eVer generatorinfluid environmentsfr0m ultrasonicvibration ZHENG Ci—hang ，TANG Gang。 LIUJing．quan。 YINGui-lin ，YUZhen ，HEDan-nong ， ， (1．CollegeofMaterialsScienceandEngineering，ShanghaiJiaotongUniversity，Shanghai200240，China 2．NationalEngineeringResearchCenterforNanotechnology (NERCN)，Shanghai200241，China； 3．NationalKeyLaboratoryofNano／MicroFabricationTechnology，KeyLaboratoryforThinFilm andM icrofabrication ofM inistry ofEducation，InstituteofM icroandNanoScienceandTechnology， ShanghaiJiaotongUniversity，Shanghai200240，China； 4．DepartmentofMechanicalandEngineering，NanchangInstituteofTechnology，Nanchang330099，China) Abstract：An vibration energy harvesterwhich can work in fluid environments is fabricated．Piezoelectric cantileverstructureisadopted．Ultrasonicenergy inwaterisharvested．Bychangingrelativedinectionofultrasonic and cantilever，and salinity weigh percent，itis discovered thatgenerating effic