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基于勒让德多项式各项系数拟合的柱面镜面形检测研究.pdf
学兔兔
第 卷 第 期 光 学 仪 器
年 月
文章编号
基于勒让德多项式各项系数拟合的柱面
镜面形检测研究
杨 醒王占山
同济大学物理科学与工程学院先进微结构材料教育部重点实验室上海
摘要超薄玻璃热成形技术是目前国际上研制 射线掠入射天文成像望远镜的重要技术之一
超薄玻璃圆柱面镜片面形的高精度检测是实现超薄玻璃热成形的关键围绕我国高能 射线
掠入射天文望远镜研制对高面形精度的超薄玻璃柱面镜的需求采用勒让德多项式对柱面镜面
形的测量数据进行拟合利用勒让德多项式各项系数与特定的几何像差的对应性通过拟合勒
让德多项式各项的系数获得了待测柱面镜面形的特定几何像差为全面评价柱面镜面形质量
提供了参考
关键词柱面镜勒让德多项式最小二乘法像差
中图分类号 文献标志码
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