UVOCS紫外臭氧（OZONE）清洗机.PDFVIP

UVOCS 紫外臭氧（OZONE)清洗机 • 超洁净表面 • 室温操作 • 快速－大多数应用10分钟内可完成 • 运行简单 • 超低采购成本和最小运行成本 • 两种尺寸10×10 英寸（25.4×25.4cm）和16×16 英寸（40.6×40.6cm）可选择 • 110伏 或 220伏 紫外臭氧清洗过程提供一种简单，经济，快速获得超洁净的表面，去除大多数无机基材 （比如石英，硅片，金，镍，铝，砷化镓，氧化铝*等）上的有机污染物。特别是当基材和 薄膜蒸镀需要很好的粘接时，紫外清洗非常理想。获得超洁净的表面，只需要在传统清洗后， 再用紫外臭氧清洗过程几分钟就可以啦。 紫外臭氧清洗可以去除： 皮肤油脂，有机硅油和油脂，助焊剂，残留的光刻胶，胶水溶剂，碳等。 怎样说是“超”洁净？ 接触角测量方法4－5度。适用AES和ESCA测量细微的峰值。使用蒸汽测试，在冷凝和蒸 发时形成一致的彩虹装的条纹。通常情况下，使用清洗或是超声清洗工序后，清洁关键表面 认为完成。紫外臭氧清洗提供一种新的清洗尺度。在传统清洗工序后加入紫外清洗的应用， 产品的性能和可靠性的提升不断的证明这种新的清洗尺度的价值。 紫外臭氧清洗工作原理： UVOCS清洗设备的核心是低压石英汞灯，产生254和185nm范围的紫外线。臭氧和等离子 氧气产生，有机污染物分子在吸收254nm波长紫外线后被激发或分解。激发的有机污染物可 以和等离子氧原子反应形成气体，比如CO2,H2O等。整个过程在室温**发生，并且只需要1到 几分钟完成。 *注1：白色氧化铝暴露在UV能量下会变黄。这种现象是由于基材吸收UV能量， 而不是一种涂层。这 种氧化铝在加热情况下会转化为他原来的颜色。 **注2：清洗元件温度的上升取决清洗过程的时间长度。在大多数应用，元件温度可以视为室温。 想了解更多产品信息，请联系深圳市慧烁机电有限公司。 Email ：info@ 或Tel ：86-755 1-3 UVOCS 紫外清洗机 Model Model 型号 T10x10/OES T16x16/OES 10 x 10 16 x 16 光照尺寸 （25.4×25.4cm ） （40.6×40.6cm ） 有效面积: 100 sq. in. 256 sq. in. 宽: 14 20 深: 23 3/4 29 3/4 高: 14.5 14.5 托盘推出深度: 33 4