电阻式蒸发镀膜机具体操作说明书.doc

电阻式蒸发镀膜机技术员培训文件 §声明§：此镀膜机为专业领域使用镀膜设备，要由经过专业培训的镀膜技师操作此设备，对于操作人员误操作而造成的机械故障以及泵、腔、电器故障及损坏我司将不予负责。 设备开机的具体操作步骤 我厂生产镀膜机为手/自动可切换型镀膜设备。下面先讲一下手动开机和自 动开机的具体步骤，《手自动关机待看标题第四项》 手动开机（预机）（预：预热。机：设备：） ①、首先在开机前检查冷却水、空压机、反应气体、硅油油量、机械泵油、线缆 接头是否松动、等等辅助设备。 ②、待①所有项以确定，然后按下电器柜面板上的“电源开”按钮，这时设备已 经进入通电待机状态，然后点击触摸屏上的“维持泵”图像按钮，打开维持 泵。带真空达到15Pa时（1.5x10°Pa）再点击触摸屏上的“扩散泵”图像按 钮打开“扩散泵”《弯曲线变成红色》待加热90分钟，开机（预机）完成。 自动开机（预机）（预：预热。机：设备：） ①、首先在开机前检查冷却水、空压机、反应气体、硅油油量、机械泵油、线缆 接头是否松动、等等辅助设备。 ②、待①所有项以确定，然后按下电器柜面板上的“电源开”按钮，这时设备已 经进入通电待机状态， 然后点击触摸屏上的“参数设定”键， 按下后会自 动弹出一个新的画面，再点击新画面上的“自动开关机”键，紧接着又会弹 出一个自动开关机设定画面，然后点击自动开关机设定画面上的“启动自动 开机键” ?《注1:！要先设定开关机时间再点击按钮》?《时间制式为24 小时制，如时间与当前时间不一致，也可通过左下方“时间调节”来调整时 间》，这时已经启动自动开机（预机）,预机需要90分钟，时间一到触摸屏 会提示开机完成。 ?注2?：本人认为自动开机对初学者提供一个比较好的步骤教材，初学者应在“自动”执行的时候看其步骤操作，可在其中学到开关泵、阀门、以及开关以上两点的真空度要求等等。所以在此本人提醒一下初学要好好学好好看，如因自己学、识程度不够误操作设备出现的故障，我公司将是不会纳入保修之内的。是要额外的收费的呦。谨记！ 抽空（抽真空） 手动抽空的顺序《此操作是正常抽空镀膜，不包括冷机抽空》 ?注3?：抽空之前应先检查腔体炉门是否关好，触摸屏的V5阀是否处于关闭 状态，机械泵油、线缆接头是否松动、转架是否正常、炉体清洁、装载铝丝、 装载工件、等等！ 待以上工序检查完毕确保无误后，首先点击触摸屏上的“粗抽泵1”和“粗 抽泵2”图像按键，打开粗抽泵。开泵之后待10秒钟！再点击触摸屏上的“V1” 阀图像按键，打开“V1”阀《粗抽阀》进入粗抽状态。紧接的点击触摸屏上 的“真空计”按键，打开“真空计”。待真空度抽到600Pa时！《注4：真空 度的换算本人会在下面讲解》再点击触摸屏上的“罗茨泵”图像按钮，打开 “罗茨泵”。保持在粗抽状态。待真空度抽到2Pa以下时！将触摸屏上打开的 V1阀“关闭”！待完全关闭后《一般关闭需要2秒钟》再点击触摸屏上的“V2” 阀图像按钮，打开“V2”阀，紧接打开“V2”阀3秒后，再点击触摸屏上的 “V3”阀图像按钮，打开 “V3” 阀。这时已经进入精抽状态。待真空度抽到 本体真空就可以镀膜了。《一般电阻式蒸发镀膜机的本体真空设定在0.02Pa 至0.05Pa之间。“本体真空”：就是镀膜所需要达到真空度，就是白话所讲的 达到这个真空度才能镀膜。》 “注4：真空度的换算” “真空”是指小于大气压力的空间的总称。单位：Pa （帕斯卡） 在这里本人所讲的是怎样将空间看不到的压力变成用数字来直观的看到，如 何将其书面形式书写出来真空度与真空计上显示的一致。 举例：书写方式1000 Pa、 100 Pa、 10 Pa、 0 Pa、 显示方式1.0x103 Pa、 1.0x102 Pa 1.0x101 Pa 1.0x10° Pa 书写方式 0.1 Pa、 0.01 Pa、 0.001 Pa、 显示方式 1.0x10ˉ1 Pa 1.0x10ˉ2 Pa 1.0x10ˉ3 Pa 读： “1000 Pa” 一千帕、 ‖ “1.0x103 Pa” 一点零乘十的三次方帕 以上是以帕为单位，真空还有另一个单位“托”，托与帕的换算如下： 1托=133帕