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学兔兔 第 l8卷第6期 粉末冶金材料科学与工程 2013年 12月 Vo1．18No．6 MaterialsScienceandEngineeringofPowderM etallurgy Dec．2013 W 含量对ZrWN复合膜的微结构与摩擦性能的影响 喻利花，赵 强，马冰洋，许俊华 (江苏科技大学 材料科学与工程学院，镇江 212003) 摘 要：采用反应磁控溅射法分别在单晶硅(1o0)和不锈钢基底上沉积不同w 含量的Zrl-xWxN(x=0．17，0．28，0．36， 0．44，0．49)复合膜，利用扫描电镜、能谱仪、x射线衍射仪、纳米压痕仪和摩擦磨损试验机研究该复合薄膜的微结 构、力学性能及摩擦性能，并探讨 ZrWN复合膜的摩擦机理。结果表明：当 ≤0．28时，复合膜呈fcc(Zr,W)N结 构；当X为0．36～0．44时，复合膜呈fce(Zr,W)N和fccW2N结构；当x=0．49时复合膜为fcc(Zr，W)N、fccW2N结 构和 ．W 单质。Zrhw 复合膜的硬度随 增加先增大后减小，当x=0．44时达到最大值，为36．0GPa。随X增加， Zr-xWxN复合膜的室温摩擦因数先减小后增大，摩擦表面生成的氧化物WO3对于降低摩擦因数起重要作用。 关键词：ZrWN复合膜；微结构；力学性能；摩擦性能 中图分类号：TG174．44 文献标识码：A 文章编号：1673．0224(2013)6-906-06 EffectofW contentonmicrostructureandfrictionpropertiesof ZrW N compositefilms YULi—hua，ZHAOQiang，MABing-yang，XUJun—hua (SchoolofMaterialScienceandEngineering，JiangsuUniversityofScienceandTechnology,Zhenjiang212003，China) Abstract：Zr1．xW~N(x=0．17，0．28，0．36，0．44，049)compositefilmswithdifferentW contentswerefabricatedonwafers ofsilicon(1OO)andstainlesssteelbyreactivemagnelronsputteringtechnique．Themicrostructure，mechanicalproperties andfrictionpropertieswereinvestigatedbySEM—EDSanalysis，X—raydiffraction，nna o—indentationandhight·emperature ball-on—disctribo—meter．Tribologicalmechanism ofZrWN filmswasdiscussed．Theresultsshow thatwhen isnomore than0．28inthefilm，thefilmsexhibitfcc(Zr，W)Nstructure．WhenXisbetween0．36and0．44，thefilmshaveasturcture comprisingfcc(Zr,w)NandfccW2N．When is0．49，pure Wappears．ThehardnessoftheZrlw Nfilmsincreases andthendecr