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- 2017-05-17 发布于河南
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基于Fluent对多晶硅还原炉的三维数值模拟及其优化
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基 于 Fluent对 多 晶硅 还 原炉 的三 维数值
模 拟 及 其 优 化
姚 心 汪绍芬 严大洲
(中国恩菲工程技术有限公司,北京 100038)
[摘 要] 基于 Fluent仿真计算平 台,对多晶硅还原炉进行 了三维数值模拟 ,得到了还原炉 内部的流场 、温度分
布 ,其结果与现场运行情况基本吻合;结合其模型,对现场运行中影响多晶硅产量 、质量和安全生产的一系列问题
进行了探讨 ,提出了在还原炉结构、进气气量 、进气方式、硅芯高度、冷却系统等方面的优化思路,可以为设计和操
作人员改进设计和控制提供理论
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