洁净度等级的划分标准与比较.docVIP

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2017-05-19 发布于北京
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洁净度等级的划分标准与比较.doc

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洁净度等级的划分标准与比较

洁净度等级标准洁净度等级标准ISO 14644根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室（区）及相关受控环境中空气洁净度的等级，并且仅考虑粒径限值（低限）在0.1um～5.0um范围内呈累积分布的粒子群。根据粒子径，可以划分为常规粒子（0.1um～5.0um）、超微粒子（＜0.1um）和宏粒子（＞5.0um）。空气洁净度分级标准： ISO14644-1 （国际标准） ? ? 空气洁净度等级（N）大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个/每立方米空气粒子） 0.1 um 0.2 um 0.3 um 0.5um 1um 5 um ISO Class 1 10 2 ? ? ? ? ISO Class 2 100 24 10 4 ISO Class 3 1 000 237 102 35 8 ISO Class 4 10 000 2 370 1 020 352 83 ISO Class 5 100 000 23 700 10 200 3 520 832 29 ISO Class 6 1 000 000 237 000 102 000 35 200 8 320 293 ISO Class 7 ? 352 000 83 200 2 930 ISO Class 8 ? 3 520 000 832 000 29 300 ISO Class 9 ? 35 200 000 8 320 000 293 000 注：由于涉及测量过程的不确定性，故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。 ? 空气洁净度分级标准： GB/T16292-1996（中国标准） ? 粒径、数值洁净度级别尘埃最大允许数/立方米微生物最大允许数 ≥0.5um ≥5um 浮游菌/立方米沉降菌/皿 100 级 3,500 0 5 1 10,000 级 350,000 2,000 100 3 100,000 级 3,500,000 20,000 500 10 300,000 级 10,500,000 60,000 — 15 ? 美国联邦标准 209D 洁净室分级：（已停用） ? 空气洁净度等级（N）大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个/每立方米空气粒子） 0.1 um 0.2 um 0.3 um 0.5um 5 um 1 35 7.5 3 1 ? 10 350 75 30 10 100 ? 750 300 100 1000 ? ? ? 1000 7 10000 ? ? ? 10000 70 100000 10000 700 ? 英国 5295 标准洁净室和空气净化装置分级： ? 空气洁净度等级（N）大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个/每立方米空气粒子） 0.3um 0.5um 5um 10um 25 um C 100 35 0 ? ? D 1000 350 0 E 10000 3500 0 F ? 3500 0 G 100000 35000 200 0 H ? 35000 200 0 J ? 350000 2000 450 0 K ? 3500000 20000 4500 500 L ? ? 200000 45000 5000 M ? 450000 50000 ? 各种国际标准的比较： ? 美国联邦美国联邦英国标准澳大利亚标准法国标准德国标准国际标准日本标准标准 209D 标准 209E BS5295 AS1386 AFNORX44101 VDI2083 14644-1 JACA24 ? ? ? ? ? ? 1 1 ? ? ? ? — 0 2 2 1 M1.5 C 0.035 — 1 3 3 10 M2.5 D 0.35 — 2 4 4 100 M3.5 E 3.5 4000 3 5 5 1000 M4.5 G 35 — 4 6 6 10000 M5.5 J 350 400000 5 7 7 100000 M6.5 K 3500 4000000 6 8 8 ? ? M ? ? 7 9 — ? ? 美国联邦美国联邦英国标准澳大利亚标准法国标准德国标准国际标准日本标准标准 209D 标准 209E BS5295 AS1386 AFNORX44101 VDI2083 14644-1 JACA24 ? ? ? ? ? ? 1 1 ? ? ? ? — 0 2 2 1 M1.5 C 0.035 — 1 3 3 10 M2.5 D 0.35 — 2 4 4 100 M3.5