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真空镀膜机维护方法 第一章 电子枪 1．电子枪枪头罩 内容：电子枪头罩，须每日清洁一次；清洁的目的是清除膜料的残留物及其他异 物资进入枪头内部而容易导致产生电压上升，扫描偏移和加快电阻丝的氧化反应， 以及蒸发膜料时产生气体而产生静电现象。 1．1 清洁方法： 1）分解枪头罩后进行喷沙方式清洁； 2）喷沙必须只操作枪头罩的外部； 3）枪头罩的内里面绝对不可以喷沙，如果对内部经常性喷沙处理，会导致固定 螺丝的磨损使得组装时不再扣紧，如长时间喷沙处理，严重影响或损坏螺纹结构， 导致组装后出现枪头的中心与电阻丝的中心部位不吻合。 此因素会导致以下问题： ①电子束扫描偏移或变化； ②电子束闪动现象； ③镀膜条件变化； ④电子器件的故障等。 1．2 枪头分解事项 内容：电子枪头在更换电阻丝时进行清洁。 1）电阻丝更换周期如下： 例）A 品电阻丝更换使用时，Zro2 蒸发时所显示的电流值为 240A 左右； IC/5 中 Zro2 的速率设定为（6.5 Rate）时，电阻丝使用较长， Zro2 的电流值会上 升到 270~280 左右。 （电阻丝上有异物资或电阻丝已发生氧化，都会产生电流 上升现象）这时可对电阻丝氧化反应现状进行直观确认。 2）枪头清洁方式 ① 对枪头建议不采用喷沙方式进行清洁。 如确切需要采用喷沙方式清洁，可在不 分解枪头的状态下进行，之后将枪头分解，对表面的残留物资进行清洁后组装即 可。 ② 进行喷沙清洁时，尽可能对枪头固定部分和螺纹部分避免喷沙，对固定部分用细 砂纸轻微擦拭。（固定电阻丝部分如果喷沙会有损伤，导致紧固电阻丝时不紧密 和偏形等结果）以上因素会导致以下问题： (.)光斑形状不规则； (.)光斑定位偏移； (.)会成为数据条件变化的因素。 1．3 电子枪扫描架 1）电子枪角铁在清洁中必须慎重管理。 电子枪角铁（合金材料）物性虽然是强性，但通过延续使用过程中，因电子枪的 高热而会转变为软性，所以，如遇较强冲击会导致变形，特别注意在喷沙过程中 不可仍抛物现象，清洁过程中一定要注意。 2）如果上述因素而导致角铁变形，延续产生以下问题：光斑不稳/光斑大小调整 异常/ 扫描等不稳定状态。 3）有时，电子枪的角铁与基台之间没有固定部分前提下组装，再加上操作者不 注意，将导致每次的光斑位置不同，延伸可导致光斑不移动状态。 （角铁上部的组装要比下部更重要） 1．4 电子枪部件 组成部件： 1） 坩埚盘 2）电子枪 角铁 3）扫描线圈接点 4）磁力 线圈 5) 冷却水入口 6）坩埚盘旋转轴 7）高压端子 8）坩埚盘旋转感应器 9）旋转电机 10）扫描线圈 第 2 章 离子源 2．1 离子源 目前，我们使用两种模式的离子源。 1． 霍尔源模式：一般在树脂光学领域使用霍尔源的比率较多，霍尔源的输射角度宽， 设定均匀性的操作上表现非常优越，但，电源电流上升限制在 220V，所以针对 金属材质等产品的使用时比较弱而无明显效果。 2． 考夫曼模式：简单说明可以理解，霍尔离子源主要为辐射角度宽，电源（压）低， 相对比考夫曼模式辐射角度小，电源（压）高；调整作业条件时比起霍尔源难度 较高，但电流电源可上升到800V,对金属材质的产品等使用适当。 3． 各部件： ①电源线固定点； ②电阻丝固定点； ③气体分配器 .； ④冷却水盘； ⑤磁控立柱； ⑥冷却水盘固定柱； 2．2 气体分配器 离子源气体分配器： 1）方法：约使用 15 日左右后更换，（刻蚀，辅助功能同时使用时）； 2）清洁周期：清洁周期为 12 小时一次； 3）问题：如果气体分配器不洁净，会影响 离子反应，导致影响产品表面膜层的 牢固度。 离子反应不到位，电弧加深，可对产品造成很严重的影响； 如产生较多异物质，中合电流值会上升； 中合电流值显示上升，说明气体分配器的状态不好； 中合电流值应保持在 1 以下最好。 4）离子源灯丝 基本上电阻丝正常使用 2~3 天，更换电阻丝时应如下：（参考值） （阳极）电源-80，（阴极）电流-29.5, 放射电流-4.8, （阳极）电流-4.8， 中合电流 00.0 （根据电阻丝的种类区别多少会有差距） ★阴极电流值约 (21)~(20)状态时，需要更换电阻丝。 5）气体分配器 ① 气体分配器的使用寿命月 50 小时； ②以眼镜镀膜为准，可使用 16 日~17 日后给于更换； ③ （氩气2 分 30 秒）（氧气 1 分 10 秒）（清扫后预热时间）等等。 ④ 离子源清扫每日进行一次。 第 3 章