SilvacoTCAD仿真流程和语法规则.pptVIP

Page ? * 0主要内容 第一部分 仿真流程 第二部分 语法规则 第三部分 语法学习及书写建议 Page ? * 1 仿真流程 第一部分 仿真流程 第二部分 语法规则 第三部分 语法学习及书写建议 TCAD仿真流程 1.1 仿真流程 Page ? * 工艺仿真流程 器件仿真流程 电路仿真流程 1.2.1 输入命令 输入命令流 Page ? * go athena line x loc=0 spac=0.1 line x loc=1 spac=0.1 line y loc=0 spac=0.02 line y loc=10 spac=0.2 init c.phos=2e13 oreit=111 two.d tonyplot 1.2.2 程序运行 命令逐行运行 实时运算信息 Page ? * 1.2.3 输出结果 实时输出 结构文件 *.str 日志文件 *.log 提取的数据 *.dat Page ? * 1.2.4 结果分析 Tonyplot显示（Display）和分析（Tools） Tonyplot导出数据 查看实时输出 Page ? * Page ? * 2 语法规则 第一部分 第二部分 仿真流程 第三部分 语法学习及书写建议 语法规则 2.1 通用格式 通用格式，由command和parameter组成 “n”为数值型参数，如“10” “c”为字符串参数，如“