第1章节新型传感器综述1.pptVIP

二、新型敏感材料 10-11学年第二学期 新型传感器 按形态分有掺杂、微粉、薄膜、块状、纤维等； 按功能可分为力敏、压敏、光敏、色敏、声敏、磁敏、气敏、湿敏等。 半导体敏感材料 10-11学年第二学期 新型传感器 半导体敏感材料可以将多种非电量转换为电量，无论是光、声、热、磁、气、湿等都可以利用相应的半导体材料进行传感。 半导体敏感材料 10-11学年第二学期 新型传感器 材料类型 典型材料 可测物理量 备注 单晶 Si、Ge 力、光、磁 多晶 Si 光、压、热 可制成薄膜 非晶态 a-Si：H 热、应变、光 制作成薄膜 异质结外延 Si 加速度、压力、酶 在蓝宝石上定向外延的单晶膜 化合物 GaAs、InSd、ZnS、CdS、TeCdHg、PbS 力、磁、光、紫外、红外、超声 光导纤维 10-11学年第二学期 新型传感器 光纤作为远距离传输光波信号的媒质，最早用于光通信技术。 光纤传感器的基本原理是将光源入射的光束经由光纤送入调制区，在调制区内，外界被测参数与进入调制区的光相互作用，使光的光学性质如光的强度、波长（颜色）、频率、相位、偏振态等发生变化成为被调制过的信号光，再经由光纤送入光敏器件、调制器而获得被测参数。 光纤传感器 数值孔径：