光学测量系统设计.docxVIP

表面形貌的全息式非接触光学测量方法王晓飞罗鸿逵郭鸿禧(北方交通大学电子信息工程学院，机械与电气工程学院，北京 100044)摘要讨论了关于表面形貌的一种全息式非接触光学测量新方法.此方法采用全息光学元件HOE替代普通光学元件，作为离焦检测元件，提高了测量精度和范围.关键词表面形貌全息光学元件(HOE) 非接触光学测量分类号 O434.19Noncontact Holographic Optical Measuring Methodof the Surface ProfileWang Xiaofei Luo Hongkui Guo Hongxi(College of Electronics and Information Engineering, College of Mechanical and Electrical Engineering, Northern Jiaotong University,Beijing 100044)Abstract A new noncontact holographic optical measuring method of the surface profile was discussed. By using holographic optical element (HOE) to replace the conventional optical element, as a defocusing testing device,measuring precision and range can be improved.Key Words surface profile HOE noncontact optical measurement目前，众多的工业生产领域(如航天、铁路、汽车、微电子等)对工件的表面形貌测量提出了很高的要求.传统的测量大多采用接触式触针测量法，尽管它能够直接读出被测表面的粗糙度或微位移的数值，并可测量平面、轴、孔等各种形态的表面形貌及微位移，但由于要求触针与表面有良好的接触，触针顶部的半径、测量力、动特性及具体的结构等都会对测量带来影响；此外，当被测物为软质材料表面时，会产生划伤，进而影响测量结果.尽管传统的表面形貌测量仪器诸如触针式轮廓仪等已经得到了广泛的应用，而且国际上采用的ISO标准及许多国家建立的表面轮廓标准皆基于接触式测量原理，各行业部门仍期待着新型表面形貌测量方法的出现.近年来逐渐发展起来的非接触式光学测量法得到了人们的注意，其中以离焦检测方法(实际上就是光触针法)较为实用.通常的非接触式光学测量方法都是采用普通的光学元件，由于光学元件尺寸的限制，很难拓宽测量范围和实现仪器的小型化.采用全息光学元件HOE(Hol-ographic Optical Element)来替代传统的光学元件，完成普通光学元件的功能，如汇聚、发散、分光与偏转、波面转换，同时作为离焦检测元件，提高了表面形貌测试系统的测量范围和测量精度，并可实现系统小型化〔1〕.1 工作原理1.1 HOE成象与再现对于同一个光源，全息透镜可以形成一实象、虚象和直射透射光.对HOE的象差分析、传输特性等研究依据是假定HOE是由两个点光源记录全息.但实际上，由于激光光源在基模输出时呈高斯分布，光源尺寸以高斯光束的束腰为界，而且光源上的每一点都能形成一组全息光栅结构，它不仅对象差有影响，并对成象和分辨率也有影响.因此在研究HOE的成象原理时，必须将光源看作是无限个点光源的集合，全息图的分布是所有这些点光源的综合.线性记录条件下，全息图的振幅分布为其中 OO、RO、CO分别为物光、参考光和再现用照明光的复振幅，ψO、ψR、ψC分别表示相应的相位分布.式中第一项表示直射光，第二项表示原始象，第三项表示共轭象.图1 离轴全息图成象关系对于离轴情况，离轴全息图消除了观察全息图时因共轭象与实象相重叠而降低象素的因素，其成象关系如图1所示.设再现点、参考点、物点和成象点的坐标分别为(xI，yI，zI)、(xC，yC，zC)、(xR，yR，zR)、(xO，yO，zO)，并用lI、lR、lC和lO分别表示象点、参考点、再现点和物点与全息元件之间的距离，则其成象关系为式中 k=λ／λO，λ是光波波长，λO是记录时光波的波长，“＋”表示原始象，“－”表示共轭象.1.2 全息离焦检测原理刀口法离焦检测原理如图2所示.图2 全息离焦检测原理示意图图3 不同物面情况下的光斑形状系统采用HOE替代传统的光学元件.HOE由分别具有不同空间频率的两部分组成，它同时还起到将光束偏转、分光、汇聚、发散和滤波等作用，在其结合处呈一直线状，此直线可以起到“刀口”作用.HOE的工作原理与普通分光镜的分割作用相当，当照射光照射到全息片上时，由于