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工艺集成10
（厚薄膜集成电路工艺原理） ---THE END--- 个人道德素养 做好個人道德素養；不要因為貪小便宜，貪一時方便而不顧道德品行丟失把人格尊嚴都降低了。 因為一個人把道德品質丟失了，再想建立起來將是萬分的困難。 所以每個人都應該尊首道德底線，不應敗壞基本道德品質。 以下是公司裡面出現的不好的現象： 1、厕所紙巾偷到宿舍去用 2、車間應急藥箱裡面的藥偷走 （偷盜行為可恥） 以下是公司裡面出現的不好的現象： 1、公共场所随意扔垃圾 2、電視房垃圾亂丟 以下是公司裡面出現的不好的現象： 恶意损坏公共财物 以下是公司裡面出現的不好的現象： 吃饭不要浪废食物 道德與生活 從字義看兩者的意義與差別: 1、倫理的意義: 倫—類別、關係；理—紋理、道理。 倫理—人類社會裡種種身分間合理的關係，行為分際(做人要守本分)。(哪些人際關係、身分) 2、道德的意義: 道—道路、道理；德—獲得。 道德—走人走的道路，便可獲得人的待遇。(不走捷徑、不誤入歧途→尊嚴、榮譽)人道 (ps.如何批評一個人罔顧為人?) 第十章 工艺集成 厚膜混合集成电路 大纲 第一章 前言 第二章 晶体生长 第三章 实验室净化及硅片清洗 第四章 光刻 第五章 热氧化 第六章 热扩散 第七章 离子注入 第八章 薄膜淀积 第九章 刻蚀 第十章 工艺集成 STI（Shallow Trench Insulation）— 浅沟槽隔离 LOCOS可用于技术节点?0.35-0.5 mm；0.35 mm必须使用STI 1）硅片清洗 2）垫底氧化 （20 nm） 3）LPCVD氮化硅 （100 nm） 4）隔离区光刻 5）浅沟槽刻蚀 （0.5 mm） 6）热生长氧化硅阻挡层 （20 nm） 7）场区沟道阻断注入 8）CVD 氧化硅充填沟槽 9）CMP平坦化 10）刻蚀氮化硅＋退火致密化CVD氧化硅 第十章 工艺集成
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