基于LIGA技术的微行星齿轮减速器的设计和制造.pdfVIP

基于 LIGA 技术的微行星齿轮减速器的设计和制造 摘要：使用同步辐射光和 X 射线掩模板的 L IGA 技术能够制造大深宽比的三维微结构。详 细讨论了基于该技术的微行星齿轮减速器的设计和制造，包括微行星齿轮减速器的设计、微 齿轮 X 射线掩模板的 CAD 技术、X 射线深层光刻、微齿轮的微电铸和微复制，以及微行 星齿轮减速器的微装配。目前已经得到了金属镍的厚度为 400Lm 的太阳轮、行星轮，厚度 为 200 Lm 的固定内齿轮、旋转内齿轮，其齿数分别为 15、11、36、39 。用这些微齿轮装 配成了一台模数为 0.03 mm、减速比为44. 2 、最大外径为 2 mm 的微行星齿轮减速器，并 将其成功地应用在直径为 2 mm 的电磁型微马达上。 关键词：3K- 2 型微行星齿轮减速器；微齿轮；L IGA；电磁型微马达 微行星齿轮减速器可以降低微马达的转速，提高微马达的输出力矩，是微机电系统的重要组 成部件。1994 年日本东芝技术研究所使用微细电火花技术(EDM ) 制造出了模数为 0104 mm、减速比为44.2 的微行星齿轮减速器[ 1 ]；1998 年，上海交通大学用 EDM