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FEI Phenom SEM特点简述 瀚宇科技
瀚宇科技(香港)有限公司
Phenom——FEI 追求卓越
Phenom G2 pro 简介
Phenom 是电镜领域久负盛名的美国FEI 公司于2007 年推出的台式电镜,
Phenom 一经面世就以其卓越的性能与优异的性价比在业界引发了广泛的关
注与赞誉。Phenom G2 pro 是Phenom 的升级版本,G2 pro 在分辨率及功能
设计上使Phenom 在台式电镜领域一骑绝尘……
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瀚宇成都办:成都市锦江区顺城大街27 号嘉好大厦1210 室 邮编:610015
邮箱:soar@ TEL:02886084006) FAX:028-8678848
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Phenom G2 pro 参数(简介)
Ⅰ极佳的成像质量——分辨率最高的台式电镜
l 电子光学放大倍率:80 ×~45,000 ×(台式电镜行业首屈一指)
l 分辨率:25nm (事实上FEI 厂家内部标准控制在20nm )
l 光学放大倍率:20 ×~120 ×(光学连续变倍,在电镜领域及高倍光学显微
领域绝无仅有,为光学导航提供了极大的方便,大大提升了工作效率)
l CeB6 灯丝斑束很小 (钨丝灯的 1/3),分辨率远高于钨丝灯;并且提供了
10 倍于钨丝灯的超高亮度及极低的色散;为绝佳的成像衬度、信噪比及
动态范围提供了有力的保障
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Ⅱ高速成像 高效率操作——效率最高的台式电镜
l 专利样品杯和低真空(0.1mBar )设计,装入样品后30 秒钟内即可得到
高质量图像,耗时仅为行业产品的 1/6~1/10,为您省去了大量抽真空的
时间,极大的提高您的工作效率。(灰色部分是Phenom 独有的)
Phenom 的专利样品杯 行业传统样品杯
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Phenom 的标准专利样品杯使装样只需几秒钟,省去了传统样品杯繁琐的校准及调节水平的过程
l 图像亮度、对比度、聚焦、灯丝对中、自动样品台……全部自动调节(可
切换为手动) ;(灰色部分是Phenom 独有的,行业产品还普遍使用手动)
l 有低倍SEM 导航窗及光学导航窗;提供触摸屏式“所触即所得”全程自
动导航——显微领域的独创式设计——为高倍下寻找观测目标这个实际
问题提供了实用高效近乎完美的解决方案
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Ⅲ低加速电压(5KV )低真空(0.1mbar )设计——样品破坏程度最小,展
现细节最多的台式电镜
l 低电压、低真空 SEM 技术是 FEI 独有的;该技术来自于其足以傲视全球
的“世界上最强大的电镜”——Titan (分辨率0.07nm )
低真空除了带来抽真空上的高效率外;还有一个重要意义在于其能大大
降低不导电样本表面的电荷累积
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