北方华创科技集团股份有限公司关于收到国家科技重大专项部.PDFVIP

证券代码：002371 证券简称：北方华创 公告编号：2017-035 北方华创科技集团股份有限公司 关于收到国家科技重大专项部分资金的公告 本公司及董事会全体成员保证信息披露的内容真实、准确、完整，没有虚 假记载、误导性陈述或者重大遗漏。 2017年5月17日，北方华创科技集团股份有限公司(以下简称 “北方华创”) 及全资子公司北京北方华创微电子装备有限公司 （以下简称 “北方华创微电 子”）收到北京市经济和信息化委员会通过北京电子控股有限责任公司拨付的国 家科技重大专项“14nm立体栅等离子体刻蚀机研发及产业化”项目经费资金 9,423.00万元、“28-14nm原子层沉积系统（ALD）产品研发及产业化” 项目经 费资金4,811.00万元及“14-7nm CuBS多工艺腔室集成装备研发及产业化”项目 经费资金4,746.00万元，详细情况如下： 一、 各项目情况 1. “14nm立体栅等离子体刻蚀机研发及产业化”项目 根据“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专项实施管理办公室下发的 《关于02 专项2014 年度项目立项批复及落实地方配套经费的通知》 【ZX0