静电损伤对微电子器件可靠性的影响及预防措施.pdfVIP

0 引言 电子技术的高速发展，集成电路的集成度越来越高，器件的尺寸相对变得越 来越小，抵抗静电能力随之越来越弱。但是器件在生产、组装、贮存及运输等过 程中，可能带来的静电却越来越多。静电放电无处不在，且其产生的高电压远远 超出器件的耐压极限值，由此造成的器件可靠性问题越来越突出。因此，研究静 电损伤的作用机理及静电敏感器件的失效的原理具有十分重要的作用。 1 静电 1.1 静电的来源 静电是一种处于静止状态的电荷。在干燥和多风的秋天，在日常生活中，人 们常常会碰到这种现象：晚上脱衣服睡觉时，黑暗中常听到噼啪的声响，而且伴 有蓝光，见面握手时，手指刚一接触到对方，会突然感到指尖针刺般刺痛，令人 大惊失色；早上起来梳头时，头发会经常“飘”起来，越理越乱，拉门把手、开水 龙头时都会“触电”，时常发出“啪、啪、啪”的声响，这就是发生在人体的静电。 所谓静电，就是一种处于静止状态的电荷或者说不流动的电荷（流动的电荷 就形成了电流）。当电荷聚集在某个物体上或表面时就形成了静电，而电荷分为 正电荷和负电荷两种，也就是说静电现象也分为两种即正静电和负静电。当正电 荷聚集在某个物体上时就形成了正静电，当负电荷聚集在某个物体上时就形成了 负静电，但无论是正静电还是负静电，当带静电物体接触零电位物体（接地物体） 或与其有电位差的物体时都会发生电荷转移，就是我们日常见到火花放电现象。 例如北方冬天天气干燥，人体容易带上静电，当接触他人或金属导电体时就会出 现放电现象。人会有触电的针刺感，夜间能看到火花，这是化纤衣物与人体摩擦 人体带上正静电的原因。 通常物体上所带正负电荷相等而使物体呈电中性，因为某种原因使物体上电 荷发生转移时，物体即变成带电体，所带电荷被绝缘体隔离起来不能与异性电荷 相中和成为静电。当带静电的物体与大地之间存在导电通路时，这些电荷会通过 导电通路释放，会引起通路的高电阻处发生结构性损伤。 物质是由原子组成的，而原子是由原子核和核外电子组成。电子所带的电荷 是负电荷，而组成原子核的质子所带电荷是正电荷，组成原子核的中子不带电荷。 在正常状况下，一个原子的质子数与电子数相等，正负电荷平衡，所以对外表现 出不带电荷的现象。由于材料表面电荷的不平衡引起静电荷，这种电荷的不平衡 产生了可以测量的电场，该电场能够影响到远处的物体，此时我们说物体具有静 电。静电放电是指在不同电势的两个物体之间静电电荷的转移。静电的电荷量依 赖于物体的大小、形状、成分、表面特征和空气湿度等。 静电产生的方法有很多。最普通即两种物体相互摩擦而带电；导体或者电介 质在静电场产生静电感应而带电，固体、流体及气体物质在相对运动、摩擦、挤 压、研磨等过程中也可带电。人在活动过程中，衣服、鞋子以及所带用具均可因 摩擦或接触分离过程而产生静电。如穿着塑料鞋在化纤地毯上行走时，人体静电 电压可达近万伏。 摩擦生电是最常见的静电产生方式，当两种具有不同的电子化学势或费米能 级的材料相互接触时，电子将从化学势高的材料向化学势低的材料转移。当接触 后又快速分离时，总有一部分转移出来的电子来不及返回到他们原来所在的材料， 从而使化学势低的材料因电子过剩而带负电，化学势高的材料因电子不足而带正 点。实际上，只要两种不同的物体接触再分离就会有静电产生。但由于摩擦产生 的热能为电子转移提供了足够的能量，因此使静电产生作用大大增强。当两种物 体相互摩擦的时候，接触和分离几乎同时进行，是一个不断接触又分离的过程。 分离速度快、接触面积大，使得膜材所产生的静电荷比固定接触后再分离所产生 的静电荷的数量要大得多。摩擦生电主要发生在绝缘体之间，因为绝缘体不能把 所产生的电荷迅速分布到物体整个表面或迅速传给它接触的物体，所以能产生相 当高的静电势。 感应生电也是静电产生的一种方式。当一个导体靠近带电体时，会受到该带 电体形成的静电场的作用，在靠近带电体的导体表面感应出异种电荷，远离带电 体的表面出现同种电荷。尽管这时导体所带净电荷仍为零，但出现了局部带电区 域。显然，非导体不能通过感应产生静电。感应生电主要发生在导体材料中。 在静电场中，充电物体的电容会随着它与另一物体的相对位置而改变。静电 电压U 是根据带电体所带电荷量Q 与其对地电容C 而确定的，如果电荷量Q 不 变，当电容减小时，电压将增加，直到产生电弧放电。当一个具有高对地电容的 低电压物体远离地面时，将会产生破坏性的高电压。这就所谓电容生电，也是静 电产生的主要来源之一。 1.2 静电的危害 随着科学技术的飞速发展及微电子技术的广泛应用，静电