X射线能谱仪(EDS).pdf

内容提要 一、能谱仪的基本原理 二、能谱仪的主要功能 三、能谱分析对样品和电镜参数的考虑 四、能谱分析中几个问题 五、环境扫描电镜中能谱仪的应用 一、X射线能谱仪的基本原理 能谱仪－EDS EDS可以与EPMA，SEM，TEM等组 合，其中SEM－EDS组合是应用 至前置放大器 极靴 FET 最广的显微分析仪器，EDS的发 电子阱 e - h 展，几乎成为SEM的表配。是微 采集角 冷指 ACTIVE Si(Li) 区成份分析的主要手段之一。 准直器 硅死层 样品取出角 窗( 光阱) 栅格 能谱仪：EDS (Energy Dispersive Spectrometer) 能谱分析：EDAX (Energy Dispersive Analysis of X-rays) 能谱法：EDX (Energy Dispersive X-ray Spectrometer) 能谱的特点 • 能快速、同时对各种试样的微区内Be-U的所有元 素，元素定性、定量分析，几分钟即可完成。 • 对试样与探测器的几何位置要求低：对W.D的要求 不是很严格；可以在低倍率下获得X射线扫描、面 分布结果。 • 能谱所需探针电流小：对电子束照射后易损伤的 试样，例如生物试样、快离子导体试样、玻璃等 损伤小。 • 检测限一般为0.1%－0.5%，中等原子序数的无重 叠峰主元素的定量相误差约为2%。 X射线产生机理 a.连续谱X射线的产生：PE在原子实库仑场 中减速产生韧致辐射。 b.内壳层电离：产生特征X射线(或Auger电子) 特征X射线 右图：Ti K 系特征谱(Ti Kα = 4.51 KeV) 和 Sb L系特征谱(Sb Lα = 3.61 KeV) 连续X射线 Intensity (I) Generated Detected Energy (E) Eo X射线荧光产额ω X能谱仪检测原理 光子能量检测过程 X射线光子进入锂漂移硅Si(Li)探 -500 ~ 1000 伏 测器后，在晶体内产生电子一空 检测器 穴对。在低温下，产生一个电子 真空 －空穴对平均消耗能量为3.8ev。 x-射线 +，- (光子) 电荷 前置 能量为E的X射线光子产生的电子 放大器 －空穴对为N＝E/3.8 。 显微镜 真空 Si （Li ） 例如：MnKa能量E为5.895KeV，形 成的电子－空穴对为1550个。CaK: 3.7KeV，约产生1,000电子－