四氯化硅氢化生产三氯氢硅技术研究.pdfVIP

· 30 · 有 色 冶 金 节 能 口工艺节能 四氯 化 硅 氢 化 生 p-三 氯 氢 硅 技 术 研 究 万 烨 汤传斌 肖荣辉 毋克力 严大洲 (中国恩菲工程技术有限公司，北京 100038) [摘 要] 改良西 门子法制备多 晶硅存在 的技术瓶颈是大量副产物 四氯化硅难 以回收利用。本文针对这一瓶颈 。 介绍 了四氯化硅氢化生产三氯氢硅技术 ，并研究了反应压力 、氢气与 四氯化硅配 比、反应温度 以及硅粉层高度对该 技术转化率的影响 。同时 ，还介绍了该技术在洛阳中硅高科技有限公司的应用实例。 [关键词] 四氯化硅 ；三氯氢硅 ；氢化 [中图分类号]TN304 [文献标识码]A [文章编号]1008—5122(2010)06—0030—03 Research onTechniqueofProducingTrichlorosilaneby Hydr0genati0n ofSiliconTetrachl0ride WAN Ye，TANG Chuan-hin，XIAO Rong—hui，WU Ke—li，rAN Da—zhou Abstract：Itisdifficulttorecyclealargeamountofbyproduct，silicon tetrachloride，which isthetech— nicalbottleneckexistinginpreparationofpolycrystallinesiliconby improvedSiemensprocess．Basedon thetechnicalbottleneck，thispaperintroducesthetechniqueofproducingtrichlorosilanebyhydrogenation ofsilicontetrachloride，andstudiestheeffectofactionpressure，rationofhydrogenandsilicontetrachlo— ride，action temperatureand silicon powderlayer’Sheighton the technicalconversation rate． Mean— while，thispaper alsopresentstheapplication example ofthe technique in China silicon corporation LTD．，Luoyang． Keywords：silicontetrachloride；trichlorositane；hydrogenation 司 。2004年全世界多 晶硅产能利用率 已经达 U 日JI舌 到饱和，市场开始出现短缺 ，到 2005年 ，世界多晶硅 多晶硅是集成 电路和光伏发 电用关键原材料 ， 市场出现了严重的供不应求局面。受到前期利益驱 是 《国家中长期科学和技术发展规划纲要》制造业 动 ，国内争相上马多晶硅项 目，但是绝大多工艺技术 领域基础原材料优先主题 的重要 内容，是国家重点 不成熟 ，更不用说氢化技术。截至 目前国内有意向 鼓励发展的产品和产业。 自本世纪开始 ，世界光伏 建设多晶硅项 目的省 、市及企业约40家 ，报道的总 产业在严峻的能源形势和生态环境形势压力下 ，在 建设规模 已超过 100000t／a，产量实现后，需要氢化 技术进步和法规政策的强力推动下，进入快速发展 的四氯化硅为 140万 ～150万 t，若 SiC1不能妥善 时期，最近 10年年平均增长率为41．3％，产业 的快 氢化处理 ，一方面，会增加生产成本 ，直接影响产能 速增长 ，导致多晶硅原料严重供不应求 ，价格猛涨 ， 发挥；另一方