一种DC～5GHz串联微波开关的温度特性和功率处理能力的测试与分析.pdfVIP

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2017-05-26 发布于河南
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一种DC～5GHz串联微波开关的温度特性和功率处理能力的测试与分析.pdf

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一种DC～5GHz串联微波开关的温度特性和功率处理能力的测试与分析

第卷第期半导体学报 25 7 .25* .7 Vol No 年月 2004 7 C~INESE J0URNAL 0F SEMIC0NDUCT0RS July* 2004 Thermal EffectS and RF Power Handling ~5 of DC GHZ MEMSSwitch 1*4 1 2 3 4 4 L Miao * Zhao Zhengping Lou JianZhong Gu ~ongming ~u Xiaodong* * * and Li Gian (1 * * 710071* ) Insztzttte of Mz61oeZe6t1onz6s Xzczcn UnzUe1szty Xz cn Chznc (2 CoZZege of EZe6t1onz6 Info1mctzon Engznee1zng* HeZez UnzUe1szty * coczng 071002* Chznc) (3 Depc1tment of EZe6t1onz6 Engznee1zng * Tsznghtc UnzUe1szty * ez zng 100084* Chznc) (4 NctzoncZ Key LcZo1cto1y of ASIC* HeZez Semz6onct6to1 esec16h Instzttte Shz zc htcng* 050051* Chznc) ; 5 * AbStract A DC to G~Z series MEMSsWitch is designed and fabricated for Wireless communication applications and thermal effect and poWer handling of the seriessWitch are discussed The sWitch ismade on glasssubstrate and. * gold~ .