AS镀膜培训报告总结2.ppt

AS培训报告 报告人：何维娜 报告日期：2010.12.31 气之作用 氩气：轰击之作用 氧气：氧化镀膜材料之作用 氮气：清洁设备之作用 氦气：检漏之作用 AS镀膜分类 AS镀膜为三大分类：蒸发镀膜 . 溅射镀膜 . 离子镀膜 蒸发镀膜：在高真空中通过加热蒸发方式使镀料转化为气体凝聚在镀物 表面 溅射镀膜：在高真空中利用荷能粒子轰击镀料表面，使被轰击出的粒子 在基片上沉积的一种技术 离子镀膜： 用一定能量的离子轰击靶材，分子脱离其表面，使靶材分子 输运到衬 底上的一种成膜方法 AS镀膜机台部位名称 AS操作面板项目 操作面板九大项目（日.英.中） ライン监視（生产线监视） 全体（真空动作监视） 搬送（产品输送） 成膜ブロセス（成膜步骤） レシビ （处方模块） ブロセス管理 （程序管理） アラーム（警报） コーテイリテイー （冷却水系统） メンテナンス（保养） MEP与RP介绍及保养 MEP与RP性能：出抽真空 冷 却 机 冷却机性能：通过铜管在机器内制冷凝结室内气体.达到真空效果 离子源保养 钨丝和电极.石英碗为主要保养对象 当操作面板发出警报信号，显示IB（钨丝已到保养时间或者烧断的情况下）可进行保养 钨丝：通常20H需更换一