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X射线荧光光谱法 许晨烨1.X射线荧光光谱法简介 2.方法和原理 3.仪器结构和原理 X射线荧光光谱法是利用样品对x射线的吸收随样品中的成分及其众寡变化而变化来定性或定量测定样品中成分的一种方法. 它具有分析迅速、样品前处理简单、可分析元素范围广、谱线简单，光谱干扰少等优点. x射线荧光法不仅可以分析块状样品，还可对多层镀膜的各层镀膜分别进行成分和膜厚的分析. 当试样受到x射线，高能粒子束，紫外光等照射时，由于高能粒子或光子与试样原子碰撞，将原子内层电子逐出形成空穴，使原子处于激发态，这种激发态离子寿命很短，当外层电子向内层空穴跃迁时，多余的能量即以x射线的形式放出，并在教外层产生新的空穴和产生新的x射线发射，这样便产生一系列的特征x射线。 当用x射线（一次x射线）做激发原照射试样，使试样中元素产生特征x射线（荧光x射线）时，若元素和实验条件一样，荧光x射线的强度Ii与分析元素的质量百分浓度Ci的关系可以用下式表示： 式中μm是样品对一次x射线和荧光射线的总质量吸收系数，K为常数，与入射线强度I和分析元素对入射线的质量吸收系数有关。 在一定条件下（样品组成均匀，表面光滑平整，元素见无相互激发），荧光x射线强度与分析元素含量之间存在线性关系。根据谱线的强度可以进行定量分析 波长色散型谱仪原理 特征X射线竟准直器准直，投射到分光晶体的表面，按照