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基于扩散模型的ZnOp-Si异质结伏安特性研究
( 自然 科学 版 )
39 2 Journal of South China University of Techno logy Vo.l 39 No. 2
2011 2 (Natural Science dition) February 2011
文章编号: 1000-565X( 2011) 02-0001-06
基于扩散模型的ZnO /p-Si异质结伏安特性 究*
熊超 姚若河 耿魁伟
( , 510640)
摘 要: 为了揭示 ZnO /p-Si异质结的导电机理, 基于 p-n结扩散模型和 Anderson扩散模
型推导了 ZnO/p-Si异质结在理想情况下的伏 特性, 并分析了掺杂浓度工作温度以及
能带补偿的影响. 结果表明: 当正向偏压超过势垒高度时, 界面两边多数载流子由耗尽变
为堆积,形成反向势垒, 对异质结的正向电流起阻碍作用; 当外加正向电压等于内建势垒
高度时,伏 特性曲线出现转折点; 当外加正向电压超过转折点电压时, 电流密度随电压
升高而增大的速度减缓;反向饱和电流密度随 p-Si受主掺杂浓度的增加和工作温度的降
低而减小,但与 ZnO的掺杂浓度和导带补偿无关; p-Si和 ZnO 的掺杂浓度减小工作温度
升高以及导带补偿增大均会引起转折点位置对应的外加正向电压减小.
关键词: 氧化锌; 异质结; 伏 特性; 内建势垒; 扩散模型
中图分类号: TN31 do:i 10. 3969/j. issn. 1000-565X. 2011. 02. 001
ZnO ( 337 eV) 1( a), SiZnO
( 60 eV) 405 435eV[ 17-18] ,
, E = 112eV E = 337eV, E E
g1 g2 C V
[ 1-4]
. Si , E E
Fn Fp
ZnO ZnO/Si ,
ZnO/Si E = 030eVE = 255eV.
C V
[ 5-10] U U ,
. D
[ 16]
ZnO U U , p-n ,
D
3+
n. Al
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