系列分子泵使用说明书.PDF

XC 系列分子泵使用说明书 感谢您购买我公司的系列分子泵产品。该产品属于高真空和超高真空的真空获得 设备。 在使用前请详细阅读和理解本说明书的各项内容，以便正确使用。不正确的使 用，将可能造成运行不正常、设备故障、寿命降低，甚至危及人身安全。泵的操作 人员必须仔细阅读并严格遵守本说明书中的条款。由于用户没有仔细阅读说明书、 或未按照使用说明书的要求操作而造成的任何伤害和损失，我公司将不负担任何责 任。 使用本资料后，务必进行妥善保管，以备使用。 凡购买我公司生产的分子泵，从发货之日起，用户凭保修单可保修一年。外地 用户可延长一个月。在保修期内不收修理费，如需更换零件，一般核收半费，不超 过半年可免费。 凡属下列情况之一的，不予保修： 1) 用户未经授权对产品私自拆卸； 2) 用户保管或使用不当（如雨淋、曝晒、进入杂物、撞击、强腐蚀环境、强放 射性环境、强磁场环境等）； 3) 属于用户其他原因造成的损坏。 本说明书仅作为信息使用，如遇改版，恕不另行通知。如本说明书与实际产品 有所出入，本公司拥有最终解释权。由本说明书引起、产生和包含的知识产权均属 本公司所有。 1 XC 系列分子泵使用说明书 1. 安全注意事项 在安装、运行、操作、维护检查前，必须熟悉本说明书内容，以保证正确使用。 使用前也必须熟知一切有关安全注意事项。 1) 分子泵必须与其专用电源配套，同时与分子泵配套电源必须良好接地。 否则可能发生产品损坏、人员受伤、触电或干扰。 2) 分子泵及配套电源的维修必须返回公司由专业人员进行。 否则可能发生产品损坏、人员受伤或触电事故。 3) 分子泵的日常维护必须确认分子泵已停止转动、电源已断开、泵内气压已经与大气 平衡后方可进行换油、查水等日常维护。 否则可能发生产品损坏、人员受伤或触电事故。 4) 湿手不能操作开关。 否则可能发生触电事故。 5) 不能带电接触电源后面板的接线及端子。 否则可能发生产品损坏或触电事故。 6) 分子泵运转过程中，不得对其进行猛烈冲撞或震动。 否则可能发生碎泵事故，并有可能造成其他损坏。 7) 分子泵启动前必须检查是否满足分子泵启动要求。 否则可能引起故障或造成分子泵损坏。 8) 分子泵电源必须断开电源15分钟以上，才能对其进行检查或接线。 否则可能发生触电事故。 2. 使用前有关事项 2.1 收货检查 检查收货的品名和数量是否和发货数量一致，包装箱有没有破损。 2.2 搬运 搬运时必须提取包装箱的底部，轻拿轻放，否则可能造成分子泵受损。对于较大 的分子泵可用叉车进行搬运，搬运时注意不要碰撞底盘上的水、电、前级口的接口零 部件，以防撞击后产生漏气或损坏。 2 XC 系列分子泵使用说明书 2.3 保管 2.3.1 短期保管 短期保管的环境条件 周围温度：-10～ +50℃ 相对湿度：5～85% 环境：不要放在会发生温度急剧变化而结露和冰冻的地方。不能受阳光直射，不 能放置于有腐蚀性气体、可燃气体、油雾、蒸汽或潮湿的环境中，不得在震动过大的 环境中。 2.3.2 长期保管 购置分子泵后长期不使用的保管方法，随存放环境而不同。 一般按如下所述保管 首先满足短时保管要求但是保管期超三个月时，要求周围温度不得高于30℃，这 是因为考虑到电器元件不通电存放，温度高时其特性易变坏。 为了防止潮气影响，应严格封存，还要在封存时放入干燥剂，使封装内部的相对 湿度约在70%以下。 3. 分子泵应用简介 分子泵是一种获得高真空和超高真空机械式真空泵，其分为涡轮分子泵、牵引 分子泵和复合分子