蘸水笔刻蚀技术DPN) 的机理与进展.pdfVIP

蘸水笔刻蚀技术（DPN）的机理与进展 １ １ １ １ ２ 蒋洪奎 ，姚汤伟 ，胡礼广 ，沈亚强 ，虞献文 （１畅 浙江师范大学交通学院， 浙江金华 ３２１００４ ；２畅 浙江师范大学凝聚态物理研究所， 浙江金华 ３２１００４） ［摘要］　 蘸水笔刻蚀（dip-pennanolithography，DPN）技术是近年来发展起来的基于原子力显微镜（AFM）的一种 扫描探针加工技术，有着广泛的应用前景。 蘸水笔技术的刻蚀过程包括AFM针尖对墨水分子的吸附、针尖与 基底间弯月液桥的形成、墨水分子在液桥中的传输、 墨水分子在基底的扩散等四个阶段，并受温度、湿度、针 尖、扫描速度等多种因素的影响。 文章具体分析了蘸水笔技术在不同阶段的作用机理，综合介绍了蘸水笔刻 蚀技术在近年来的进展，包括电化学DPN技术、DPN 的多种加工模式、DPN 的复合加工及多探针的DPN加工 等；分析了DPN 的加工特点及其应用。 ［关键词］　 蘸水笔；纳米刻蚀；原子力显微镜；纳米加工 ［中图分类号］　 TH７４２畅９　 ［文献标识码］　 A　 ［文章编号］　１００９－１７４２（２００８）０７－００７７－０７ 子，在毛细力作用下可以形成弯月液桥，黏附在针尖 1　 前言 上的材料分子经过针尖与样品之间液桥的传输，通 　 　 基于微桙纳米功能器件、高密度信息存储、纳米 过化学吸附可以固定在基底上形成稳定的表面结 生物学、纳米电子学等众多领域的发展要求及广阔 构。 由于其过程类似于笔蘸墨水在纸上书写，故该 的应用前景，利用扫描隧道显微镜（STM） 、原子力显 刻蚀技术被命名为蘸水笔技术。 图１ 为 DPN 的加 ［５］ 微镜（AFM）等扫描探针显微镜（SPM）作为加工工具 工原理 。 进行纳米刻蚀加工的扫描探针刻蚀技术（SPL）近年 来得到了极大发展。 目前已形成机械式刻蚀、氧化 加工、原子搬迁、电化学反应加工等多种不同加工机 理的纳米结构加工方法［１ ～ ３］ 。 蘸水笔刻蚀（dip-pen nanolithography，DPN）技术就是其中一种。 DPN 技术 自１９９９ 年由C． A． Mirkin 等人发明以来，备受科学 家们关注，Science 也曾连续进行报道。 笔者结合国 图1　 DPN 的加工原理图 内外的最新研究，分析了蘸水笔技术的刻蚀机理及 Fig畅1　 Sketch map of DPN 该技术在近年来的主要进展。 2 　 DPN刻蚀技术机理研究 整个DPN 的刻蚀过程主要包括针尖对墨水分 子的吸附、针尖与基底间弯月液桥的形成、墨水分子 　 　 １９９９ 年由C． A． Mirkin 等人在研究大气中水分 的传输、 墨水分子在基底的扩散等四个阶段，并受 子对原子力显微镜（AFM）分辨率的影响时发现， 环境、工具、材料及工艺等多方面因素的影响。 AFM 针尖在大气环境可以直接在基底刻蚀出纳米 2畅1 　 “墨水”分子的吸附 结构［４］ 。 针尖和样品表面通过吸附大气中的水分 保证针尖与墨水分子之间有足够的吸附力是刻 ［收稿日期］ 　 ２００７ － ０７ － ２５ ；修回日期 　 ２００７ － ０８ － １６ ［基金项目］ 　 浙江省教育厅资助项目 ［作者简介］ 　 蒋洪奎（１９７４ － ） ，男，浙江诸暨市人，硕士，浙江师范大学讲师