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微机械微带贴片天线研究-光学精密工程
9 3 Vol. 9 , No. 3
2 0 0 1 6 OPTICS AND PRECISION ENGINEERING un . , 2 0 0 1
1004924X( 2001)
潘 武, 钟先信, 巫正中
( 重庆大学微系统研究中心, 重庆400044)
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: 微机械; 微带天线; 硅
: TN82 1 : A
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1 引 言 , ,
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, 2 微机械微带贴片天线结构
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(TM120) TM110 1 2
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: , : G1999033105
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3 天线参数分析
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