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PCM introduction 工艺控制监测器介绍 PCM --process control monitor（工艺控制监测器）一解是process control monitor , 一解是parameter control monitor。 PCM参数给定的是该工艺要实现的一些重要的参数，包括各方块电阻/电容/孔接触电阻/导线电阻/管子的开启电压等重要参数等。 不仅仅是电阻，所有用到的器件包括有源和无源器件的参数都要给出具体数值。 方块电阻，电容阻值，晶体管的基本参数都给出。在流片结束后测试专门放在划片槽中的PCM图形，作为“交货的质量凭证”。 PCM是Foundry监控工艺的，当器件的测量值都在指定的范围内，Foundry就会说我们的工艺没问题，如果产品性能差就是设计的问题了。 Contents 1 ??概述 2 PCM 硬件部分 3 PCM 测试原理和方法 4 PCM 异常处理 What’s PCM PCM就是Process Control Monitor的简称 同时，PCM也称为 WAT：Wafer Accept Test（芯片接收测试） ET: Electrical Test 1. 对产品进行参数质量检验； 2. 通过PCM测试，获取流水线上异常信息； 3. ?为流水线上的工艺实验提取参数信