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太阳能电池工艺流程 制绒和清洗 硅片表面的机械损伤层 绒面腐蚀原理 利用低浓度碱溶液对晶体硅在不同晶体取向上具有不同腐蚀速率的各向异性腐蚀特性，在硅片表面腐蚀形成角锥体密布的表面形貌 ，就称为表面织构化。角锥体四面全是由〈111〉面包围形成。 反应式为： Si+2KOH+H2O →K2SiO3 +2H2 ↑ 绒面光学原理 制备绒面的目的： 减少光的反射率，提高短路电流（Isc），最终提高电池的光电转换效率。 陷光原理：当光入射到一定角度的斜面，光会反射到另一角度的斜面，形成二次或者多次吸收，从而增加吸收率。 绒面光学原理 陷光原理图示： 影响绒面质量的关键因素 KOH浓度 异丙醇浓度 制绒槽内硅酸钾的累计量 制绒腐蚀的温度 制绒腐蚀时间的长短 槽体密封程度、异丙醇的挥发程度 扩散 等离子体刻蚀 去PSG SiNx:H减反射膜 丝网印刷与烧结 什么是磷硅玻璃？ 在扩散过程中发生如下反应： POCl3分解产生的P2O5淀积在硅片表面， P2O5与Si反应生成SiO2和磷原子： 这样就在硅片表面形成一层含有磷元素的SiO2，称之为磷硅玻璃。 磷硅玻璃的去除 氢氟酸能够溶解二氧化硅是因为氢氟酸能与二氧化硅作用生成易挥发的四氟化硅气体。 若氢氟酸过量，反应生成的四氟