Filmstar介绍.docx

FilmStar光学薄膜分析设计软件??????? FilmStar是一个强大且容易使用的窗口之薄膜设计软件，它包含了五种模块对于光学薄膜镀膜的设计、特征化、量测、监控等有强大的功能，分别为 DESIGN（设计）、INDEX（使用者自订函数）、MEASURE（控制并透过分光光度计获得数据）、 MONITOR（监控系统）、CRYSTAL（转换薄膜设计到Inficon IC/4+、IC/5+及Sycon STC-200/SQ 控制器作处理）。??FilmStar应用领域及范围?光学系统组件之抗反射膜抗紫外线膜亮度衰减膜高反射膜双色滤光片偏极分光片偏极延迟片带通滤光片???FilmStar主要模块介绍?DESIGN （设计）模块薄膜设计 (Thin Film Design)其中包含许多的功能及主要特色：?光学 (Optical)、物理(Physical)、大量(massive)层的厚度定义?光学和物理厚度的转换?群组和层数的转换?不同质 (inhomogeneous) 层的模拟?包含了 52 种膜的材料?反向设计 (reverse design)索引 (Film Indices)提供常数、色散 (dispersive)查阅表，内建函数包含Buchdahl、 Cauchy、Lorentz、 quadratic、Sellmeier等等，使用者可增加到20种新的函数到内建的编辑功能中，如FilmStar Workbook、Excel或是其它程序中。基底补偿(Substrate Compensation)提供精确的校正基底表面，对于正向及逆向入射光，基底可被视?大量的 (massive)层，在系统中含有多重吸收基底及空气间隔，这样允许被计算及最佳化。计算量(Calculated Quantities)?[%R , %T , O.D , 相位] V.S [波长 , 角度 , 厚度]?CIE color? 椭率测量术(ellipsometry)? Herpin indices最佳化 (Optimization)：提供四种优化方式?Damped Least Squares?Levenberg-Marquardt?Simplex?NOL Gradient MethodsINDEX（使用者自订函数）模块光学膜不仅只是设计，还必须能被特征化，对成功的薄膜制造而言，推断色散指数 (dispersive indices) 的能力就非常重要。索引目录(Index Tables)提供 N, K 目录，使用者自订函数能被定义在内建的FilmStar workbook 或外部的 Windows 程序，如 Excel 或是 Visual Basic 。附加运算法(Additional algorithms)?对于已知厚度的单层薄膜可由 %R 及 %T 数据计算 N,K?对于轻微吸收的单层薄膜可由 %T 数据计算 N,K?由 %R 及 %T 数据计算 filter glass 基底的 N,KMEASURE （控制并透过分光光度计获得数据）模块MEASURE 由分光光度计 (Spectrophotometers) 控制及获得数据，它亦可与FilmStar中的 DESIGN 结合。所提供的量测控制，为化学专用软件的最佳替代选择。以下的仪器是目前所支持的： Perkin-Elmer? Lambda 2,5,7,9,19,90088x,983,983G(FIR models)Spectrum2000FTIR?Hewlett? HP8453 Diode-Array?Varian Associates? Cary1,3,4,5?Hitachi? U-3200/3210,U-3400/3410?MONITOR（监控系统）模块MONITOR使用者能模拟沈积过程(Deposition processes)及决定最理想的方式获取高质量的生产CRYSTAL模块CRYSTAL 转换薄膜设计到Inficon IC/4+,IC/5+ 及Sycon STC-200/SQ 控制器作处理，以上概括简述FilmStar的特色及功能，它亦能做容限 (Tolerancing) 分析、产量分析、 … 等等，实为光学设计者的有利帮手。???特色FilmStar数据库（Database）已经完成了对MS Access的联结对测试试用版感兴趣的使用者可以透过电子邮件与我们联系，我们将告知您可供下载的操作说明以及新的安装密码，除了MEASURE的Varian Cary模块之外，所有程序皆可执行这个新的数据库。可登录为FilmStar的管理员（ Administrator）可限制其它的计算机在执行FilmStar时，对程序功能做存取。例如，镀膜部门里用于光学监控的计算机，能设定为不允许使用者编辑或储存薄膜设计。其它功能