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液晶顯示器面板檢測技術 國立台北科技大學光電工程系 陳隆建／王萬煒 「 工 欲 善 其 事 ， 必 先 利 其 器」，液晶顯示器面板的檢測需 要光源。對於CCD感測器或人眼而 言，適當波長的光源可以減少視 覺疲勞，提高檢出率。雖然人眼 對於白光感覺最舒適，但是黃綠 光有較佳的瑕疵識別性。 前言 在平面顯示器技術當中，液晶顯示器 (Liquid Crystal Display, LCD)因其具備體積小， 重量輕，耗電量低，及輻射低等優點，目前已逐漸取代 傳統的陰極射線管(Cathode Ray Tube, CRT)顯示器而成為顯示 器的主流。近年來在台灣蓬勃發展，並被視為繼半導體晶圓代工後，台灣電子業的另一波主流產業，因此經濟部 積極推動並列為兩兆雙星產業之一。 瑕疵的種類與檢測方式 Cell工程中有四種微觀瑕疵項目，包括：指觸（Finger 在薄膜電晶體液晶顯示器(Thin Film Transistor touch）、孔洞（Pinhole）、刮痕（Scratch）、與粉 LCD, TFT-LCD)面板的製造過程當中，主要有三個階 塵（Particle）污染。目前使用的檢測方式主要分別為 段：陣列(Array)製程，微胞(Cell)製程，和模組 光學檢測，目視檢測，和電氣檢測。光學檢測係以CCD (Module)製程。其中，以微胞(Cell)製程的良率最低， 擷取待檢物表面的影像，經影像處理之後檢出異物或瑕 是公司獲利率的關鍵所在。因此，公司需要雇用了大量 疵。目視檢測係用肉眼配合燈光和／或放大鏡檢出異物 勞工從事整個製程之操作及品管作業，尤其在製程後段 或瑕疵。電氣檢測係以陣列測試器檢查TFT的功能或電 之點燈檢測作業，為一長時間、耗眼力之作業，而且基 路特性，藉由電特性檢出異物或瑕疵。其中前兩項需要 於檢測作業的需求，現場係採用低度照明，再以強光燈 適當的光源配合才能達成良好的檢出率。雖然光學檢測 照射面板的作業方式進行。 係以自動光學檢測設備進行，但是最終還需要用人眼完 TFT-LCD瑕疵的類別包含可由人眼觀察之巨觀瑕 成檢查工作。因此，本文主要的目的係研究光源對微觀 疵（Macro-defect）與不易由人眼觀察之微觀瑕疵 瑕疵之光特性的影響。 （Micro-defect），其中微觀瑕疵之人工檢測必須借助 光源對瑕疵之光特性的影響 放大解析機台進行檢驗，不但費時且容易造成漏檢。 首先，以單光儀量測瑕疵面板對不同波長的光線之