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MFC 替换的相关知识 Edit by songshu E-Mail:pineyf@163.com QQ:120166808 半导体设备中 MFC 的应用非常多。一般的时候，如果需要更换 MFC ，直接用同厂家，同型号， 同标定气体，同量程的 MFC 就行了。但是，如果遇到特殊情况，例如：手头上暂时没有同厂家的 MFC 了 （有相同标定气体，相同量程的其它厂家的 MFC ）；或者有相同厂家，相同型号，相同量程， 但是标定气体不同的 MFC 。或者其它情况。那么，遇到这样的情况，作为 EE，大家应该如何解决？ 本人从事半导体设备维修，积累了一些经验。与大家分享。欢迎大家讨论。如果有不对的地方请指 教。 一般来说，MFC 的替换主要有以下两种情况： 1．标定气体相同，量程相同。但是不同的厂家。需要解决的是接线问题。因为不同厂家的MFC 的 引脚和内部电路结构不同。 2 ．厂家相同，量程相同。但是标定气体不同。需要解决的问题是，不同气体的转换系数造成流量不 同，所以要实际调节。 如图所示：两个 MFC 为不同厂家生产，标定的气体不同 （一个为 N2 ，另一个为 O2 ）。量程也不同。 d e r e t s i g e R n U 以下就 MFC 替换的两种情况分别进行说明。 1．标定气体相同，量程相同。但是不同的厂家。 有两个工作要做： 1.因为不同厂家的MFC 的引脚定义不同。要把 9 针的D 型插头里的引线进行改变。 2. 由于不同厂家的 MFC 的内部电路结构不同。必须要注意的是电源地的问题。 例如：设备原配的MFC 是 UNIT 的。由于UNIT MFC 的电路结构，所以连接线只有 5 根：+15V -15V Set point (0-5V) Output (0-5V) Signal Common 0V。但是，如果用 STEC 的 MFC 做替换，就必须把 STEC MFC 的Power Common 0V （电源地）接在 Signal Common 0V （信号地） 上。如果 STEC MFC 的Power Common 0V （电源地）悬空，那么 STEC MFC 就 不工作。原因是：STEC MFC 必须在有 Power Common 0V （电源地） 的情况下才能工作。而 UNIT MFC 就可以在没有 Power Common 0V （电源地） 的情况下工作。根源就是两种 MFC 的 电路结构不同。 所以我们在做类似的替换时，一定要注意到这个细节。对于其它品牌的MFC 之间的替换，我们 就必须试了。 UNIT MFC Equipment d +15V e -15V r Set point (0-5V) e Output (0-5V) t S