SEMI E20-0697 电源与紧急关断标准.pdfVIP

半导体国际标准 设 备 规 程 集群工具接口： 电源和急停标准 C SEMI E20-0697 ○ SEMI 1991 ，2002 SEMI E20-0697 （1102 重新批准） 集群工具模块接口：电源和紧急关断标准 本标准在技术上由全球物理接口和运营商委员会批准，是由北美物理接口和运营商委员会直 接负责。当前版由北美物理接口和运营委员会于 2002 年 7 月 21 日批准。最初发表于 2002 年10 月，2002 年11 月被公布.原始发表于1991;此前公布于1997 年6 月。 1 目的 1.1 本标准的目的是指定集群工具模块的紧急关闭功能，允许模块在不切断其余部分电源的 情况下，以安全的方式紧急关闭断开和重新连接，以及防止电源被应用到一个不带有紧急停 止功能的模块。 2 适用范围 2.1 集群工具模块的电能的输送和紧急中断的处理准则。 2.2 本标准并非旨在解决安全问题，如果有的话，仅是相关联的使用。本标准用户的责任是 建立相应安全健康措施，并在使用前，事先确定适用性或监管限制。 3 影响 3.1 本标准的要求是只有当其紧急关闭功能是正常时，才允许电源传递到一个单独的模块， 这并不排除通过非紧急手段从模块切断电源。 3.2 本标准规定在集群工具紧急关闭接口处，包括插头、瞬间旁路开关和旁路跳线插头，必 须要提供紧急关闭电路功能。插脚引线的紧急关闭插头和旁路跳线插头都应指定。 4 引用标准 4.1 SEMI 标准 SEMI E21 - 集群工具模块接口：物理接口和晶圆传输标准 4.2 军用标准 MIL-C-26500E - 一般规格连接器 - 通用目的，电器，小型，圆形，环境阻抗。 5 术语 5.1 定义 5.1.1 菊花链 – 一种连接方式，以便一个部件的移除引发另一个部件的电路中断。 5.1.2 紧急关闭（EMO） - 故障安全控制开关或电路，当取消通电时，将停止相关设备的操 作，并将切断所有主电源机箱外的潜在危险。 C SEMI E20-0697 ○ SEMI 1991 ，2002 5.1.3 EMO 接口 - 在一个过程或盒式模块EMO 电缆的位置连接到群集工具电路。 6 要求 6.1 配电 6.1.1 电源 - 每个集群工具（如SEMI E21 定义）应带有由EMO 启用的一个或更多个接触器 提供的电源。电源要被传递到一个或更多配电箱，其中电压在分配到模块之前可能已变压（如 SEMI E21 中定义）。 6.1.2 模块配电 -通过在配电柜中的专用电路断路器给每个模块配电。每个电路中的额定电 流和电压由工具的配置决定。在如何使用此标准可以被实现的讨论中给出了相关信息R1-2 ）。 6.2 EMO 电路 6.2.1 说明 - 连接到群集工具的每个模块都带有至少一个EMO 按钮操作的EMO 开关（见相 关信息R1-3 ）。这些开关是菊花链式连接到一个电路或电路组，即断开主电源和任何备份 电源。 来激励这个电路的24 VAC 电源是从内部的主电源箱提供，从而使EMO 电路独立于 模块电源。每个模块EMO 被连接到链上的EMO 接口。一个瞬间旁路开关，也位于每个模块 EMO 接口，在不引起EMO 跳闸时允许模块从集群工具分离。通过关闭专用断路器电力从模 块内移除 （见相关信息R1-4 ）。如果专用电路断路器被接通，在旁路跳线插头串联连接EMO 电路的触点是打开的。 6.2.2 在EMO 电路中使用接线铜导线应为0.82 平方毫米截面（＃18 AWG）或更大。 6.2.3 标记-- 如下图例标签须贴于电源分配箱各模块电路短路器附近。注意： 给装有相关 EMO 旁路跳线插头的电路上电将中断整个集群工具的电源。 6.3 连接EMO 接口 6.3.1 EMO 连接器 - EMO 接口连接器仅用于预留EMO 功能。每个MIL-C-26500E 标准规定金 属壳卡口式连接器如下： MS24265R16B10SN 用于面板上，MS24266R16B10PN 用于电