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新型蒸发器在光纤预制棒生产中的应用
2009 2
Opt ical Fiber & Elect ric Cable No. 2 2009
李东升
( , 201108)
[ ] SiCl SM R
4
SiCl
4
[ ] ; ; SiCl4
[ ] TN 1 [ ] A [ ] 1006190 (2009)
Application of New Type Evaporator in Optical
FiberPreform Fabrication
LI Dongsheng
(Shanghai enTechUHP Co., Ltd., Shanghai 201108, China)
Abstract: A brief int roduct ion of optical fiber preform fabrication process, and the current technical status of
vapor delivery system for silicon tetrachloride are presented. T he structure, specification and high performance of the
new type of SMR evaporator for the flow rate control of silicon tetrachloride are described.
Key words: optical fiber preform; evaporator; silicon tetrachloride
, 90 SOOT ( )
1
,
;
, : a. 0. 22~ 0. 40 dB/ km
( OVD) ( VAD) ,
( M CVD) , ,
( PCV D) VAD ,
( CoreRod) ; b. -
OH , 1 3 5 nm
( OverCladding) , 0. 46 dB/ km
VAD 1977
: 2 %, SOOT 62% ,
, OVD % , 2% OVD
4
: SiCl VAD
SiO2 ,
SOOT , ( SiCl4 )
, ,
, ,
,
,
VAD 20 70
, 0
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