Cu膜厚水准検査化要件.ppt

Cu膜厚水準検査化要件 2005.11.17 太陽誘電玉村工場 太陽化学工業 全体??????? Cu膜厚検査削減STEP-UPと要件 具体的要件①（工程管理項目） 具体的要件②（めっき液管理項目） * 100% 70% 50% 23% 10%以下 フロー水準検査化 全て完了 本資料の対象 ●Lot測定時の各バレル毎の測定個数（n=10／Lotになるように） 例：1Lot　1分割　→　n=10 　　　 　　　2分割以上　→　n=5／B ●流出防止としてのポカヨケ ?Lot測定でCpL1.67未満の場合、 該当Lotはバレル毎測定とする （n=10／B） 運用方法を各拠点で検討し、判断依頼書提出時に添付 管理項目と管理値は次ページ参照 この部分を 水準管理すれば、Cu膜厚変動が 監視できる 異常が上がる仕組みは、 各拠点で検討し、判断 依頼書提出時に添付 前工程の管理項目については、JTYより今期末までに提示 Cu膜厚 における 特別水準管理項目 その他には ?長期稼動停止後のバレル （停止時間が48Hr以上の場合） ?電解Cuめっきの活性炭濾過前後のバレル めっきの場合 水準管理バレルでCu膜厚NGが 発生した場合、前回の水準管理 バレルまでさかのぼって検査する *