Ch7_可靠性试验-复习要求.pdf

微电子器件可靠性 西安电子科技大学微电子学院 贾新章 2009.4 第七章 可靠性试验 7-1 可靠性试验概述 7-2 GJB548_微电子器件试验方法和程序 7-3 抽样理论 7-4 可靠性试验数据处理 7-1 可靠性试验概述 1. 什么是可靠性试验 与产品可靠性相关的“试验” 。 包括： 了解可靠性状态 评价可靠性水平 分析可靠性问题 可靠性水平增长 7-1 可靠性试验概述 2. 可靠性试验的作用 (1) 筛选：剔除早期失效的元器件产品； (2) 可靠性鉴定：验证产品是否符合规定的可靠性 要求； (3) 质量一致性检验 (4) 可靠性增长和失效分析：暴露产品的可靠性缺 陷、分析失效原因； (5) 可靠性验收：验证交付的产品是否满足规定的 可靠性要求。 7-1 可靠性试验概述 3. 可靠性试验需要考虑的问题 (1) 试验样品的选定：抽样理论(数学) ； (2) 试验项目的选定：GJB548 (标准) ； (3) 试验条件的确定：GJB548 (标准) ； (4) 试验结论的确定：数据处理(数学) ； 第七章 可靠性试验 7-1 可靠性试验概述 7-2 GJB548_微电子器件试验方法和程序 7-3 抽样理论 7-4 可靠性试验数据处理 7-2 GJB548_微电子器件试验方法和程序 1、试验方法分类 GJB548规定的试验方法包括环境试验、机械试验、电 学试验以及试验程序。它们的编号范围分别为： 环境试验 1001—1999 机械试验 2001—2999 电学试验 3001—4999 （新版本只保留3015 ：静电放电敏感度的分类） 试验程序 5001—5999 2、单项可靠性试验方法 7-2 GJB548_微电子器件试验方法和程序 3、试验程序 5001 参数平均值控制 5002 参数分布控制 5003 微电路的失效分析程序 5004 筛选程序 筛选试验 关于浴盆曲线 筛选的作用是剔除早期失效的器件。 所有元器件在出厂之前都必须进行100%地筛选试验。 GJB548详细规定了S级（宇航级）和B级（军级）微电路的筛选试验项 目和要求。 筛 选 项 目 7-2 GJB548_微电子器件试验方法和程序 3、试验程序 5001 参数平均值控制 5002 参数分布控制 5003 微电路的失效分析程序 5004 筛选程序 5005 鉴定和质量一致性检验程序 5006 极限试验 5007 晶片批验收 5008 混合和多片微电路的试验程序 5009 破坏性物理分析 5010 复杂单片微电路试验程序 5011 聚合材料的评价和验收程序 5012 数字微电路的故障覆盖率测量 5013 GaAs工艺的晶片制造控制和接收程序 第七章 可靠性试验 7-1 可靠性试验概述 7-2 GJB548_微电子器件试验方法和程序 7-3 抽样理论 7-4 可靠性试验数据处理 7-3 抽样理论 7-3-1 概述 1. 检验与抽样检验 (1) 检验方法分类 百分之百逐个进行检验 抽样检验：从一批产品中随机抽