电化学机械光整加工表面相关性分析_邢彦锋.pdf

第 卷第 期 山 东 理 工 大 学 学 报: 自然 科 学 版I V8= )T@ W8 S )T S 年 月 X89?.1= 83 ;61.A8./ B.-C4?D-EF 83 ’46.8=8/F : ;- Y ’46 I 71F !##S !##S 文章编号： : I )##T2)UT !##S #S2##!S2#$ 电化学机械光整加工表面相关性分析 邢彦锋，张 明，侯仰海 （山东理工大学 机械工程学院，山东 淄博 !#$% ） 摘 要：应用随机过程的相关性在自相关、互相关两方面对精磨加工表面和电化学机械光整加工 表面进行了研究，分析了光整加工对工件表面的影响，结果表明电化学机械光整加工提高了工件 的表面质量，降低了工件的表面粗糙度 关键词：电化学机械加工；光整；自相关函数；互相关函数 中图分类号：’()* ) )$ 文献标识码：+ !##$%’() *)%+,(, ) -.#/0$ 1#/(%$ 203()$4 5(’3 6%$0’#03$7(0% 2$03)(0% 8()(,3()9 ,-./ 01.234./ ，561./ 7-./ ，(89 01./261- : ;688= 83 7461.-1= ./-.44?-./@ ;61.A8./ B.-C4?D-EF 83 ’46.8=8/F@ 5-G8 !#$%@ H6-.1 I *:,’#0’; J-E6 8??4=1E-8. 83 ?1.A8K L?84DD@ 19E8 8??4=1E-8. 1.A ?8DD 8??4=1E-8. 1?4 ?4D41?64A 1G89E D9?2 314D GF /?-.A-./ 1.A 4=4E?864K-1= K461.-1= 3-.-D6-./ K16-.-./ ’64 4334ED 83 3-.-D6-./ K16-.-./ 8. L1?E D9?314 1?4 1=D8 1.1=FD4A ’64 ?4D9=E -.A-1E4D E61E D9?314 M91=-EF K16-.4A N-E6 4=4E?864K-1= K42 61.-1= 3-.-D6-./ -D -KL?8C4A $+ 5#4, ; 4=4E?864K-1= K461.-1= K16-.-./ O 3-.-D6-./ O 19E8 8??4=1E-8. 39.E-8. O ?8DD 8??4=1E-8. 39.E-8. 电化学机械光整是由电化学加工与机械珩磨加工组合而成的复合加工技术，可以对各类匀质、导电 材料制成的零件进行表面光整加工 在电化学机械光整加工中，主要靠电化学阳极溶解去除零件表面 的金属，机械珩磨是为了去除零件表面微观高点在电化学反应中产生的钝化膜，更好地加速这些微观高 点处金属的溶解过程，其表层金属去除量小、可控性好，加工效率远高于机械珩磨，有望成为对精磨表面 进行进一步精密光整的有效方法P ) Q ! R 由于电化学机械光整加工的表面形成机理与其它加工方法不同，珩具与工件间的相对运动轨迹也 不同于机械珩磨，其表面形貌有着独特的分布特性 而表面轮廓的最终形成，是多次加工叠加的综合结 果，既包含有规律性的走刀所形成的周期性成分，也包含有变化着的因素所导致的随机成分，其二维测 量结果是一个非常复杂的随机信号，使用传统的粗糙度参数只能表达表面轮廓的有限几何信息，而对表 面轮廓的相关性分析，可以揭示出电化学机械光整加工前后表面的继承性与差异性 ) 电化学机械光整表面自相关分析 :