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硅基表面无形貌改变的硫酸_过氧化氢氧化清洗
315 Vol. 31 No.5
2009 05 J. Wuhan Inst. Tech. May 2009
:2009)
硅基表面无形貌改变的硫酸 /过氧化氢氧化清洗
1 1 2 1*
毛强强 , 文 路 , 刘宏芳 , 刘善堂
( 1. 武汉工程大学化工与制药学院, 绿色化工过程省部共建教育部重点 验室,
湖北省新型反应器与绿色化学工艺重点 验室, 湖北武汉430074;
2.华中科技大学化学与化工学院, 材料化学与服务失效湖北省重点 验室, 湖北武汉430074)
:/ . , /
, 80 ., .
(AFM) / . , /
30 min 7.3 ,, ( RMS)
0. 03 nm. , / .
:; ;
+
:T N304. 1 2 :A
.
0
1
,
, 1. 1
. P
, .
[ 16] [ 5]
. T akshashi ( UPH∀10 ) ,
, pH 9 , 18.00 M # cm. : ,
9 2 , , , , , ,
3 ! 10 / cm
, ( RMS ) , .
[ 6]
0.251nm. , 1.2
, , 1.2. 1 第一种清洗方法( 传统清洗方法)
, : ( 1) ,
(RMS) 0.304 nm 0.230 nm. 3 min, ,
, ; (2) HF ∃ NH4 F= 1∃ 7()
, 90 s, ,
,/ ; ( 3) NH4 OH ∃ H2 O2 ∃ H2 O=
, . 1∃2∃ 10() , 80 10 min,
, / , ; (4) H l∃
, H2 O2 ∃ H2 O= 1∃ 1∃ 6( ) , 80
. ( AFM) , / 10 min, ; (5) ,
, ,
., / .
:( ( G P200813)
: ( 1984) , ,, .: .
:, , , ,. :, , , . *
2 31
1.2. 2 第二种清洗方法( 硫酸/ 过氧化氢直接氧 2.2
化清洗方法) : /
( 1) 3 min, , , .2
; (2) / [ 98% / .
( ) H2 SO4 ∃ 30% ( ) H2 O2 ,
= 7∃ 3() ] , 80 , , , , , . 0~ 10 min
, ; (3) , , , 24.6 17. 9 ,
, .
. ,
1.2. 3 性能表征 SL2008 ,
( ) , , . 20 min ,
, , 23.5 ,
. SPM
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