硅基表面无形貌改变的硫酸_过氧化氢氧化清洗.pdfVIP

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硅基表面无形貌改变的硫酸_过氧化氢氧化清洗

315 Vol. 31 No.5 2009 05 J. Wuhan Inst. Tech. May 2009 :2009) 硅基表面无形貌改变的硫酸 /过氧化氢氧化清洗 1 1 2 1* 毛强强 , 文路 , 刘宏芳 , 刘善堂 ( 1. 武汉工程大学化工与制药学院, 绿色化工过程省部共建教育部重点验室, 湖北省新型反应器与绿色化学工艺重点验室, 湖北武汉430074; 2.华中科技大学化学与化工学院, 材料化学与服务失效湖北省重点验室, 湖北武汉430074) :/ . , / , 80 ., . (AFM) / . , / 30 min 7.3 ,, ( RMS) 0. 03 nm. , / . :; ; + :T N304. 1 2 :A . 0 1 , , 1. 1 . P , . [ 16] [ 5] . T akshashi ( UPH∀10 ) , , pH 9 , 18.00 M # cm. : , 9 2 , , , , , , 3 ! 10 / cm , ( RMS ) , . [ 6] 0.251nm. , 1.2 , , 1.2. 1 第一种清洗方法( 传统清洗方法) , : ( 1) , (RMS) 0.304 nm 0.230 nm. 3 min, , , ; (2) HF ∃ NH4 F= 1∃ 7() , 90 s, , ,/ ; ( 3) NH4 OH ∃ H2 O2 ∃ H2 O= , . 1∃2∃ 10() , 80 10 min, , / , ; (4) H l∃ , H2 O2 ∃ H2 O= 1∃ 1∃ 6( ) , 80 . ( AFM) , / 10 min, ; (5) , , , ., / . :( ( G P200813) : ( 1984) , ,, .: . :, , , ,. :, , , . * 2 31 1.2. 2 第二种清洗方法( 硫酸/ 过氧化氢直接氧 2.2 化清洗方法) : / ( 1) 3 min, , , .2 ; (2) / [ 98% / . ( ) H2 SO4 ∃ 30% ( ) H2 O2 , = 7∃ 3() ] , 80 , , , , , . 0~ 10 min , ; (3) , , , 24.6 17. 9 , , . . , 1.2. 3 性能表征 SL2008 , ( ) , , . 20 min , , , 23.5 , . SPM