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第五章 纳米微粒尺寸的结构表征 透射电子显微镜 扫描电子显微镜 显微镜 扫描隧道显微镜 原子力显微镜法 扫描近场光学显微镜 X射线衍射 X射线光电子能谱法 紫外可见光谱 红外光谱 光谱法 拉曼光谱法 其他光谱法 热分析 透射电子显微镜(TEM) TEM的发展史： 电子显微镜的发展历史可远溯自1897 年英人J.J. Thomson发现“电子” ; 到了 1912年von Laue发现X光衍射现象，经Bragg父子发扬，一举奠定X光的波性和利用电磁波衍射决定晶体结构的方法; 1924 年 de Broglie 发表质波说 ;1926 年 Schroedinger及Heisenberg等氏发展量子力学，树立电子波质二元论的理论基础。电子既然有波性，则应该有衍射现象; 1927 年美国 Davisson和Germer两氏以电子衍射实验证实了电子的波性。 1934年Ruska在实验室制作第一部穿透式电子显微镜transmission electron microscope，TEM)，1936 年，第一部商售电子显微镜问世。在1940年代，常用的50 至100 keV 之TEM 其分辨率(resolving power) 约在l0 nm左右，而最佳分辨率则在2至3 nm之间。当时由於研磨试片的困难及缺乏应用的动机，所以鲜为物理科学研究者使用。直到1949年，Heidenreich制成适於TEM观察的铝及铝合金薄膜，观察到因厚度及晶体力面不同所引起的像对比效应，并成功的利用电子衍射理论加以解释。同时也获得一些与材料性质有关的重要结果，才使材料界人士对TEM看法改变。但因为一般试片研制不易，发展趋缓。一直到1950年代中期，由於成功地以TEM观察到不锈钢中的位错及铝合金中的小G.P.区(G.P. zone)，再加上各种研究方法的改进，如： (l) 试片的研磨。(2) TEM一般的分辨率由2.5 nm增进到数埃。(3) 双聚光镜的应用可获得漫射程度小、强度高、直径在微米(μm)左右的电子束，增进TEM微区域观察的效力。(4) 晶体中缺陷电子衍射成像对比理论的发展。(5)试样在TEM中的处理，如倾斜、旋转装置之渐臻实用等。TEM学因此才一日千里，为自然科学研究者所广泛使用。 TEM的组成 TEM的原理 透射电子显微镜是以波长很短的电子束做照明源，用电磁透镜聚焦成像的一种具有高分辨本领，高放大倍数的电子光学仪器。其主要特点是，测试的样品要求厚度极薄（几十纳米），以便使电子束透过样品。 以高能电子（50-200keV）穿透样品，根据样品不同位置的电子透过强度不同或电子透过晶体样品的衍射方向不同，经过后面的电磁透镜的放大后，在荧光屏上显示出图象；透射电镜在加速电压Ep=100keV下，电子的波长为3.7pm。 高分辨电子显微术（HREM） HREM可以观察反映晶面间距的晶格条纹像，拍摄反映晶体结构中原子或原子团配置情况结构像及单个原子的像。HREM像主要有三种 ： 一维晶格像 让电子束从某一组晶面产生反射成像 二维晶格像 采用一个晶带的反射成像 .单原子像 直接看到原子的位置。 SEM 扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope，SEM)，又可简称扫描电镜，它是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。 扫描电镜有较高的放大倍数，20-20万倍之间连续可调；有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构，而且试样制备简单。 SEM发展史 1935年Knoll提出SEM的原理， 1942年制成第一台SEM， 现代的SEM是Oatley和他的学生从1948年到1965年在剑桥大学的研究成果。 第一台商品SEM是由英国的剑桥仪器公司生产的。 扫描电镜的工作原理 SEM的电子枪发出的电子束经过栅极静电聚焦后成为直径50μm的点光源，然后在加速电压（2～30kV）作用下，经2～3个透镜组成的电子光学系统，会聚成几十埃的电子束聚焦在样品表面。在末级透镜上有扫描线圈，在它的作用下，电子束在样品表面扫描。由于高能电子束与试样物质的相互作用，产生各种信号（二次电子、背散电子、吸收电子、X射线、俄歇电子、阴极发光和透射电子等）这些信号被相应的接收器接收，经放大器放大后送到显像管（CRT）的栅极上，调制显像管的亮度。由于扫描线圈