第八章扫描电子显微镜.ppt

8.4 原子序数衬度原理及应用 8.4 原子序数衬度原理及应用 原子序数衬度——由于样品表面物质原子序数或化学成分差异而形成的衬度。利用对样品表面原子序数变化敏感的物理信号作为显像管的调制信号，可以得到原子序数衬度像，如BSE像、吸收电子像和特征X射线像。 以BSE为例说明原子序数衬度形成的原理。SEM图像的衬度是一种信号衬度，定义如下： 式中：C—信号强度；i1、i2—样品表面上任意两点检测的信号强度。 原子序数衬度原理及应用 若样品表面由单一元素构成，电子束在扫描时各点产生的信号强度一致，即i1＝i2 ，则C=0，不存在衬度。 原子序数衬度原理及应用 当样品由原子序数为Z1、Z2（ Z2＞Z1 ）的纯元素区域1、区域2构成时，电子束扫描到1区和2区时产生的BSE数目不同，即(nB)2＞ (nB)1 ，探测器探测的BSE信号强 度iB不同，即 (iB)2 ＞ (iB)1 ， 得到图像衬度。 原子序数衬度原理及应用 BSE像衬度特点： ①分辨率较SE像低，对表面形貌的变化不敏感； ②由于BSE能量高，离开样品表面后呈直线轨迹运动，检测器检测的BSE信号比SE低很多，导致粗糙表面的原子序数衬度被形貌衬度掩盖。对于显示原子序数衬度的样品，只需磨平抛光，不能浸蚀，且在检测器前端接一负偏压（－50V）以阻止二次电子到达检测器，排除形貌衬度干扰。 ③样品表面平均原子序数高的微区，