溶液法制备的氧化锌多层膜及其场效应性质.pdfVIP

物理化学学~(WuliHuaxueXuebao) January ActaPhys．一Chim．Sin．，2010，26(1)：249—252 249 [Article] www．whxb．pku．edu．cn 溶液法制备的氧化锌多层膜及其场效应性质 王小燕 董桂芳 乔 娟 王立铎 邱 (清华大学化学系，有机光电子与分子T程教育部重点实验室，北京 100084) 摘要： 通过旋涂法，采用不同浓度的前躯体制备了氧化锌多层膜，并制备了基于此多层膜的薄膜晶体管器件． 实验证明，基于按照氧化锌前躯体浓度顺序为 0．25、0．10和0．05mol·L--依次旋涂前躯体溶液制备的氧化锌薄 膜的晶体管器件的载流子迁移率为0．02cm V·。。·s～，高于按照浓度顺序为O．05、O．10和0．25mol·L。。依次旋涂前 躯体溶液制备的氧化锌薄膜的载流子迁移率(0．013cm扎V-s-L)．原子力显微镜(AFM)结果表明，前一种薄膜粗糙 度的均方根值(rms)为3．95nm，而后一种薄膜粗糙度的rillS远远高于前者，为4．52nm，这就说明了氧化锌薄膜的 粗糙度对薄膜的半导体性质有很大的影响，这是由于平整的薄膜有利于形成理想的源，漏电极与半导体层的接 触．在晶体管中，起传输作用的半导体层是靠近ZnO／SiO 界面处的几纳米的半导体层中的氧化锌晶粒，因此起 始形成的氧化锌薄膜的结晶度影响着晶体管的性能．采用x射线衍射(XRD)N试了多层膜中起始形成的薄膜的 结晶性能．对于前一种薄膜，起始形成的薄膜为多晶薄膜，而对于后一种薄膜，起始形成的薄膜是无定形薄膜．因 此，粗糙度以及起始形成的薄膜的结晶度影响着多层半导体薄膜的性质． 关键词： 溶液处理；氧化锌；多层膜；场效应；薄膜晶体管 中图分类号： 0649 PreparationandField·EffectPropertyofSolution-Processed M ultilayerZincOxide WANGXiao-Yan DONGGui—Fang QIAOJuan WANGLi—Duo QIUYong (KeyLaboratoryofOrganicOptoelectronicsandMolecularEngineeringofMinistryofEducation，DepartmentofChemistry TsinghuaUniversity,Beijing 100084，P．R．China) Abstract： Inthispfdper，wedescribemultilayerZn0 thinfilmspreparedbyspin—coatingprecursorsolutionsofdifferent concentrations．ThemultilayerZnO thinfilmswereemployedasactivelayersinthinfilm rtansistorsfTFrs1．A T devicebasedon athree—layerZn0 film preparedusingprecursorconcentrationsof0．25．0．10．andO．05mol·L showedahighermobilityof0．02cm2~V一 s comparedwiht aTFTdevicefmobilityof0．013cm2~V一·s_11preparedusing precursorconcenrtations