计算机在表面层次结构的XPS分析中的应用.pdfVIP

第8卷 第1期 “计算机与应用化学 Vol8 N0．1 1991年 1月 Computersand Applied Chem [stry Januarv I991 计算机在表面层次结构的 XPS分析中的应用 魏 献忠 王建祺 (石家庄市第一橡胶厂) (北京理工大学化工系1 一 、 前 言 用灵敏度因子对 XPS谱进行定量分析是计算均匀样品的表面组成的最有效方法。然 而，许多样品并不是均相的，而具有层状结构，因此，为了得到样品表面区域的正确组 成，必须校正由各元素的不同的取样深度、仪器参数和电子起飞角 ETOA的变化引起的 表面组成的分析误差，对于平坦样品表面，获得重要化学信息的唯一非破坏性方法就是 ETOA方法，为了改善 ETOA数据分析的可信度，L_B．Hazeu，1．SBrown，F．Freisinger 根据适用于样品中的所有化学元素的定量分析模型系统发展了计算机分析方法，计算机是 进行科学计算的有力手段，它可在很短的时间内完成大量的计算工作，从而更加迅速精确 的得出结论。L_B．Hazeu等人虽给出了表面层次结构的分析方法，但没有给出计算方法， 更没有程序框图和程序清单，本文参考 L_B．Hazeu等人提出的表面层次结构的分析方 法，设计并验证了表面层次绪构的ETOA实验数据的计算机分析方法和程序。 二、表面层次结构分析的数学模型 图1为具有均匀层组成的固体模型，则任一元素E的 XPS峰强度为各层产生的光 电 子强度之总和。Fadley等人导出的从任一厚度为 t的 ，层产生的元素 E的光 电子强度 由 下式给 出： J EnEf0L(y)E Esin(O)(1一 exp(一 t ／lEsin(O)) (1) 其中 自为电子起飞角， 为 射光与发射光 电子夹角，L()为角度不对称参数 由于 L(力 sin(O)aE比 于 校 正 同～ 台仪 器 的 灵 敏 度 因 子 ， 定 义 灵 敏 度 因子 SF =K oL(r)2sin(O)。因此元素 E的峰强度为： 1￡，SFE ∑ n (f)(1一 exp(一 ，／ ￡sin(O))×兀exp(一 t ／Esin(O)) (2) E f l r I 其中M 为总的层数 在此模型中未考虑样品表面粗糙度、电子或 X射线衍射、折射及基 体影响， 只是动能的函数。假设元素总数为N，则各层的元素组成为： A H (，)／∑n (f) (3) 一 = I 其中n为原子密度，^为光 电子的非弹性散射 自由程 第 l期 魏献忠等：计算机在表面层次结构的XPS分析中的应用 ·73 · 其 中 n为原子密度 下角标代表 元 素、上角标表示层 的序 号 】为 XPS峰强 度、 为光电子的非弹性散射 自由程、 为元 素的光电离截 面、K为仪器参数 国 1 均匀层组成的固体模型 ^～ 三、计算方法 首先利用多项式回归得到各元素的蜂强度 I与电子起飞角 0之间的相互关系，从而得 到各个不