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驻极体声传感器及其储电材料的现状
扬声器与传声器 !#$%’()’* +,$ -./*0,’
驻极体声传感器及其储电材料的现状 ·综述·
夏钟福,王飞鹏
(同济大学 波耳固体物理研究所,上海 !#! )
【摘 要】 综述了驻极体声传感器及其储电材料近年来的迅猛发展。传统的 (
$% ’(’)*+,-.).(’/0,(1(2
)驻极体电容式声传感器及以铁电聚合物 ( )
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家族为芯片的声传感器和超声换能器仍焕发着青春活力。: 基微型驻极体声传感器的理论和实验研究
已经日趋成熟,而用空间电荷型多孔聚合物驻极体压电薄膜为芯片可望研制出新一代声电和电声传感
器、压力传感器和驱动器。
【关键词】驻极体声传感器;硅微型声传感器;超声换能器;铁电聚合物;多孔聚合物驻极体
【 】
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