用于微机械器件在Fe-Ni合金电镀沉积膜的性能.pdfVIP

第 36卷 第 5期 仓 属 学 歧 Vo1．36 No．5 2000 年 5 月 ACTA M ETALLURGICA SINICA M ay2000 (、( 用于微机械器件的Fe-Ni合金电镀沉积膜的性能 T 陈 盎 退堑剖 熊幸果 王渭源 T及I —— 商科学院上海冶金研究所，上海200050) ■ 蔓 结合si体微机械技术和电镀技术加工出Fe-Ni／Cu／Si复合悬臂粱，其中Fe-Ni膜厚3 m，Cu膜厚0．2 m．利用 共振法首次测出在13Pa气压下，复合悬臂集中FeN