真空泵报警故障处理技巧.pdf

Alcatel 2 & 3 系列真空泵Alcatel 2 & 3 系列真空泵故障处理故障处理 Alcatel 2 & 3 Alcatel 2 & 3 系列真空泵系列真空泵故障处理故障处理 Wangbiao 2010-8-5 真空泵报警信息表真空泵报警信息表 真空泵报警信息表真空泵报警信息表 ›Warning信息Warning信息‘Wxx‘Wxx’’，，黄色指示黄色指示 WarningWarning信息信息‘‘WxxWxx’’ ，，黄色指示黄色指示 灯亮起灯亮起 ，真空泵继续运行不会停，真空泵继续运行不会停 灯亮起灯亮起 ，，真空泵继续运行不会停真空泵继续运行不会停 止止 止止 ›Alarm信息Alarm信息‘Dxx‘Dxx’’，，红色指示灯亮红色指示灯亮 AlarmAlarm信息信息‘‘DxxDxx’’ ，，红色指示灯亮红色指示灯亮 起，起 ，同时真空泵停止运行同时真空泵停止运行 起起 ，，同时真空泵停止运行同时真空泵停止运行 Presentation Title — 2 All rights reserved © 2007, Alcatel·Lucent EXHAUST PRESSURE报警报警 报警报警 › W01 EXHAUST PRESSUREW01 EXHAUST PRESSURE W01 EXHAUST PRESSUREW01 EXHAUST PRESSURE 表面现象表面现象 ：： 表面现象表面现象 ：： 1)排气压力大于1)排气压力大于1450mbar(P/LM), 1450mbar(P/LM), 1)1)排气压力大于排气压力大于1450mbar(P/LM), 1450mbar(P/LM), 大于大于1650mbar(H)1650mbar(H) 大于大于1650mbar(H)1650mbar(H) 2)排气压力始终2)排气压力始终 ＝500mbar＝500mbar，，无任何变化无任何变化 2)2)排气压力始终排气压力始终 ＝＝500mbar500mbar ，，无任何变化无任何变化 排气压力排气压力 主要原因主要原因：： 排气压力排气压力 主要原因主要原因：： Sensor 位置Sensor 位置 Sensor Sensor 位置位置 1)N2压力调整是否正确1)N2压力调整是否正确 ，标准在，标准在1.2bar左右1.2bar左右 1)N21)N2压力调整是否正确压力调整是否正确 ，，标准在标准在1.2bar1.2bar左右左右 拆除排气管检查拆除排气管检查 ，如果有堵请及时清理，如果有堵请及时清理 拆除排气管检查拆除排气管检查 ，，如果有堵请及时清理如果有堵请及时清理 2)排气压力2)排气压力Sensor或信号线可能有问题Sensor或信号线可能有问题 ，， 2)2)排气压力排气压力SensorSensor或信号线可能有问题或信号线可能有问题 ，， 尝试更换尝试更换SensorSensor 尝试更换尝试更换SensorSensor M4可能有问题M4可