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微结构动态特性测试 图2 可动电极沿Z轴做离面运动的电容式加速度计 图1 ISLI公司的三轴加速度计 图3 可动质量块在XY平面内运动的双谐振加速度计 图4 上交研制的抗磁悬浮微陀螺 微结构动态特性测试  微结构运动  平面运动、离面运动  周期运动（谐振器）、瞬时运动（开关、阀门）  描述运动的参量 位移、速度、加速度、振动频率、振幅、相位、响应时间等  测量系统  振动激励、振动测量和模态分析等三个基本环节  基于频闪视觉测量－平面运动  基于频闪干涉测量的测量系统－离面运动  基于激光多普勒技术的测量系统－离面运动 3 计算机微视觉技术  计算机微视觉测量  基于数字图像处理技术的二维平面几何测量  以像素为单位，用标准栅格标定和校正  系统组成  显微镜 连续光照明，频闪照明，显微干涉  视频设备 CCD，计算机  数字图像处理技术 图像增强，边缘检测，亚像元定位，图像匹配等 4 频闪成像技术  解决运动模糊问题  缩短曝光时间  闪光灯强制照明  平面周期运动参数测量 普通摄像获得的MEMS运动模糊图像  计算机微视觉＋周期运动激励＋频闪照明  时序控制  激励信号控制  频闪照明控制  CCD曝光控制  图像采集控制 频闪成像技术获得的清晰图像 5 图8 (a)MEMS谐振器运动时的模糊图像(连续光) (b)MEMS谐振器运动时清晰图像(频闪) 为什么采用频闪光照明 • 由于视觉成像系统采样频率的限制,单纯的计算机微视觉 技术不能实现高速、高频运动参数的检测 • 国内研制微型机械运动参数测试仪,设计了两套测量系 统,当微马达转速大于50 r/ min时,采用光电三极管测 量系统代替视觉测量。 • 将频闪光照明技术与计算机微视觉技术相结合可对 MEMS微结构的周期及可周期重复运动进行有效检测。 美国麻省理工学院(MIT) 研制的计算机微视觉系统 (CMVS) 采用了频闪光照明,可测量的最高周期运动频 率达到100 kHz 频闪照明系统 频闪成像原理 对CCD曝光时间要求不高，控制光源照明时间为ns级 照明时间足够短，器件运动“冻结” 同一状态频闪多次，累加光强达到成像水平 频闪照明系统 控制信号时序 频闪成像的时序控制 10 离面耦合运动 11 离面运动测量  计算机微视觉+光学离焦法+模糊图像处理  计算机微视觉+散