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JEM-2010 例行簡易操作步驟
-5
1. 確定SIP VACUUM 5 X 10 Pa 4. FILAMENT ON
2. 升壓加 200KV 5. 檢查試片位置是否歸零
3. 確定 SF6氣壓 6. 確定D V值為 +0
設定 MAG X 40K
TEM 1-3 OR 2-3 YES
檢查 DV 是否為 0 NO 調整 OBJ FOCUS KNOB 使 DV= +0
1
YES
BEAM 是否在 NO 使用[Bright-Tilt] - Shift X. Y 調至中央
SCREEN CENTER ?
YES
TEM 1-3 時調[GUN]
SHIFT X,Y CENTER
TEM 3-3 時調 [BRIGHT-TILT]
改變 SPOT-SIZE 由 1-3 NO
至 3-3 時,BEAM 是否在 Shift X, Y CENTER
CENTER? 如此重覆
YES
使用[Cond STIG]-DEF X, Y 來調整,
NO
使 BEAM 成圓形
BEAM 在收放的同時,是否
呈現橢圓形變化?
YES
NO
轉動 Brightness, Beam 是 使用 CL APERTURE X. Y 來 CENTER BEAM
否呈現同心圓收放?
使用 Z 軸來 FOCUS SAMPLE
1
YES VOLTAGE NO
觀察倍率
CENTER 是否
50K?
OK?
YES
調整[B
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