方 华-20121019-六氟化钨中杂质含量的测定.pptVIP

上海华爱色谱分析技术有限公司 六氟化钨中杂质含量的测定 方华 主要内容 第二部分 试验方法 引言 第一部分 第四部分 结果与讨论 第三部分 试验过程 前言 六氟化钨(WF6)在室温下是一种无色、无嗅的气体或透明的液体，它的密度是已知气体中最大的，其分子在常温下具有对称的正八面体结构，并具有抗磁性。六氟化钨为有毒气体，对呼吸道、眼睛和皮肤有强烈的刺激和腐蚀作用，在空气和水中迅速生成三氧化钨和氟化氢，对皮肤可产生类似氟化氢的烧伤[1,2]。 在钨的氟化物中，六氟化钨是唯一稳定并被工业化生产的品种。它的主要用途是在电子工业中作为金属钨化学气相沉积(CVD)工艺的原材料，特别是用它制成的WSi2可用作大规模集成电路(LSI)中的配线材料。通过混合金属的CVD工艺制得钨和铼的复合涂层，可用于X-射线的发射电极。此外，六氟化钨在电子行业中还主要用作半导体电极和导电浆糊等的原材料。 六氟化钨还有许多非电子方面的应用，例如通过CVD技术使钨在钢的表面上生成坚硬的碳化钨可用来改善钢的表面性能。它还可用于制造某些钨制部件，如钨管和坩埚等。此外，WF6还被广泛用作氟化剂、聚合催化剂及光学材料的原料等[3,4]。 随着电子工业的飞速发展，WF6的需求量日益扩大，为适应市场需求，促进我国六氟化钨产业和电子工业更快的发展，并提高其国际竞争力，国家标准委下达了制定WF6国家标准的